冷凍機(jī)-工業(yè)冷凍機(jī)-高低溫一體機(jī)
晶圓高低溫測試系統(tǒng)
半導(dǎo)體晶圓熱測試系統(tǒng)
冠亞高低溫測試?yán)鋮s盤，以其寬泛的溫度測試范圍、緊湊型制冷機(jī)，低能耗要求和純空氣可靠性而聞名。在雙通道冷卻操作中從冷卻空氣中提取zui大效果，消耗的超干燥、清潔的冷卻劑空氣可用作節(jié)省成本的吹掃氣體，以防止晶圓和其周圍區(qū)域結(jié)冰。在實(shí)驗(yàn)室和大規(guī)模生產(chǎn)中均表現(xiàn)出較高的性能。
用于在溫度下進(jìn)行晶片測試的導(dǎo)電加熱和冷卻系統(tǒng)。它的主要用途是用于在探針臺中進(jìn)行晶圓測試,以及激光修剪和晶圓老化。一些專門的應(yīng)用包括低泄漏探測(fA級)和高壓探測(高達(dá)10kV)。
l -75℃至+225℃
l 150mm,200mm和300mm
l現(xiàn)有探針臺可進(jìn)行改造
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