冷凍機(jī)-工業(yè)冷凍機(jī)-高低溫一體機(jī)
產(chǎn)品中心
Product Center
雙通道系列 Dual Channel Chiller
產(chǎn)品簡介
FLTZ系列雙通道Chillers主要用于半導(dǎo)體制程中對反應(yīng)腔室溫度的精準(zhǔn)控制，公司在系統(tǒng)中應(yīng)用多種算法（PID、前饋PID、無模型自建樹算法），顯著提升系統(tǒng)的響應(yīng)速度、控制精度和穩(wěn)定性。
每個通道具備單獨(dú)的溫度范圍、冷卻加熱能力、導(dǎo)熱介質(zhì)流量等，采用獨(dú)立的兩套系統(tǒng)，根據(jù)所需的溫度范圍選擇采用蒸汽壓縮制冷，或者采用ETCU無壓縮機(jī)換熱系統(tǒng)，系統(tǒng)可通用膨脹罐、冷凝器、冷卻水系統(tǒng)等，可以有效減少設(shè)備尺寸，減少操作步驟。
加載情況下控溫精度可達(dá)士0.1℃，可在-45℃~+90℃之間任意切換，具有良好的溫度跟隨性。
品頁特點(diǎn)圖標(biāo)-1.png)
單通道系列 Single Channel Chiller
產(chǎn)品簡介
FLTZ系列單通道Chillers主要應(yīng)用與半導(dǎo)體生產(chǎn)過程中及測試環(huán)節(jié)的溫度精準(zhǔn)控制，公司在系統(tǒng)中應(yīng)用多種算法（PID、前饋PID、無模型自建樹算法），實(shí)現(xiàn)系統(tǒng)快速響應(yīng)、較高的控制精度。
Chillers的排吸氣溫度（壓力）、冷凝溫度、冷卻水溫度（壓力）、進(jìn)出液體（氣體）溫度（壓力）、用電功率、各部件電流、電壓、水箱液位等重要信息均通過傳感器接入控制系統(tǒng)進(jìn)行全面管理監(jiān)控記錄。
加載情況下控溫精度高，可在-100℃~+90℃之間任意切換，具有良好的溫度跟隨性；先進(jìn)的低溫制冷技術(shù)，支持-100℃~ -80℃超低溫控溫。
三通道系列 Triple Channel Chiller
產(chǎn)品簡介
FLTZ系列三通道Chillers主要應(yīng)用與半導(dǎo)體生產(chǎn)過程中及測試環(huán)節(jié)的溫度精準(zhǔn)控制，系統(tǒng)支持三個通道獨(dú)立控溫，每個通道有獨(dú)立的溫度范圍、冷卻加熱能力、導(dǎo)熱介質(zhì)流量等。
公司在系統(tǒng)中應(yīng)用多種算法（PID、前饋PID、無模型自建樹算法），實(shí)現(xiàn)系統(tǒng)快速響應(yīng)、較高的控制精度，加載情況下控溫精度可達(dá)±0.1C，可在-20℃~+100℃之間任意切換，具有良好的溫度跟隨性。
面板系列Panel Chiller
產(chǎn)品簡介
面板系列Chiller應(yīng)?于刻蝕、蒸鍍、鍍膜?藝等，支持?流量?負(fù)載，確保極端?況下持續(xù)穩(wěn)定運(yùn)?；支持冷卻?動態(tài)調(diào)節(jié)系統(tǒng)，可根據(jù)環(huán)境溫度與設(shè)備熱負(fù)荷，實(shí)時調(diào)節(jié)?溫。
采用變頻智能節(jié)能控制，減少?效能耗；全?動補(bǔ)液與?質(zhì)管理，缺液時?動補(bǔ)液；符合三通道?藝設(shè)計要求，確保信號/流體的獨(dú)?傳輸與精準(zhǔn)控制。
帕爾貼Chiller
產(chǎn)品簡介
冠亞恒溫LNEYA 帕爾貼熱電制冷器CHILLER溫度范圍從-20到90℃，專為半導(dǎo)體行業(yè)度身定制；
基于經(jīng)過實(shí)踐驗(yàn)證的帕爾貼熱傳導(dǎo)原理，帕爾貼溫度控制系統(tǒng)能夠?yàn)榈入x子刻蝕應(yīng)用提供可重復(fù)性的溫度控制；
對于靜電卡盤(ESC)動態(tài)的溫度控制，使得其能夠應(yīng)用于所有類型的刻蝕工藝；
快速和精確的溫度控制，能夠滿足任何嚴(yán)苛的工藝要求；
高效節(jié)能，節(jié)省空間，同時還能夠穩(wěn)定的控制溫度。
負(fù)壓型控溫機(jī)組
產(chǎn)品簡介
負(fù)壓型控溫系統(tǒng)通過負(fù)壓環(huán)境下的流體循環(huán)實(shí)現(xiàn)精準(zhǔn)溫度控制，原理：通過負(fù)壓發(fā)?器驅(qū)動導(dǎo)熱介質(zhì)（?/油）循環(huán)，避免泄漏?險，適?于各種類型板卡冷卻。
核?技術(shù)與優(yōu)勢
防泄漏設(shè)計：系統(tǒng)運(yùn)?時管路處于負(fù)壓狀態(tài)，即使管道破裂也不會泄漏?溫介質(zhì)，安全性?。
?效節(jié)能：全密閉循環(huán)，閉式循環(huán)，減少熱能損耗。
精準(zhǔn)控溫：采?PID算法或PLC控制，實(shí)現(xiàn)溫度波動≤±0.3℃，適?于精密制造場景。
多場景適配：?持純?、氟化液、??醇?溶液等不同介質(zhì)，控溫范圍從常溫到80度
FLTZH雙通道高溫Chiller
產(chǎn)品簡介
冠亞恒溫LNEYA雙通道?溫控溫的Chiller，可以?來滿?半導(dǎo)體?溫測試需求，介質(zhì)溫度最?可達(dá)250℃，以特殊的?藝?式，保證系統(tǒng)?溫?況下的控溫精度。
ETCU換熱控溫單元
產(chǎn)品簡介
ETCU換熱控溫單元冷卻?溫度范圍：+5℃?+90℃，控溫精度±0.05℃；系統(tǒng)?壓縮機(jī)，通過換熱降溫；?持?標(biāo)定制，?持PC遠(yuǎn)程控制；采?西??/霍尼?爾調(diào)節(jié)閥控制冷卻?流量；最?循環(huán)量時，控溫溫度與冷卻?溫度溫差15°C。