三通道系列 Triple Channel Chiller

適用范圍

FLTZ系列三通道Chillers主要應(yīng)用與半導(dǎo)體生產(chǎn)過程中及測試環(huán)節(jié)的溫度精準(zhǔn)控制，系統(tǒng)支持三個(gè)通道獨(dú)立控溫，每個(gè)通道有獨(dú)立的溫度范圍、冷卻加熱能力、導(dǎo)熱介質(zhì)流量等。

公司在系統(tǒng)中應(yīng)用多種算法（PID、前饋PID、無模型自建樹算法），實(shí)現(xiàn)系統(tǒng)快速響應(yīng)、較高的控制精度，加載情況下控溫精度可達(dá)±0.1C，可在-20℃~+100℃之間任意切換，具有良好的溫度跟隨性。

全國服務(wù)熱線 400-100-3163

產(chǎn)品特點(diǎn)

Product Features

特點(diǎn)一控溫范圍：-20℃～+100℃，控溫精度：±0.1℃（可定制±0.01℃）

特點(diǎn)二優(yōu)化系統(tǒng)傳熱設(shè)計(jì)，節(jié)省循環(huán)液使用量

特點(diǎn)三三通道整合，支持每個(gè)通道獨(dú)立控溫范圍、導(dǎo)熱介質(zhì)流量

特點(diǎn)四深化性能開發(fā)，匹配先進(jìn)刻蝕工藝需求

產(chǎn)品參數(shù)

Product Parameter

型號	FLTZ-203W/ETCU-008W
管道	通道1	通道2	通道3
溫度范圍	-10℃～+60℃	+30℃～+80℃	-10℃～+80℃
溫度穩(wěn)定度	±0.1℃（可定制±0.01℃控溫精度設(shè)備）
冷卻能力	4kW@-10℃/21kW@+20℃	6 kW@+30℃	3kW@-10℃
加熱能力	4kW	4.5+6kW	3kW
流量/壓力 MAX	17L/min 0.7MPa	17L/min 0.7MPa	17L/min 0.7MPa
導(dǎo)熱介質(zhì)接口	ZG3/4	ZG3/4	ZG3/4
環(huán)境溫度	10～35 ℃	10～35 ℃	10～35 ℃
環(huán)境濕度	30～70%	30～70%	30～70%
冷卻水溫度	15～20℃	15～20℃	15～20℃
冷卻水流量	30L/min@15~20℃	15L/min@15~20℃	15L/min@15~20℃
斷路器	100A
?藝過程溫度控制	可根據(jù)?創(chuàng)?模型?建樹算法和串級算法相結(jié)合來控制遠(yuǎn)程?標(biāo)溫度
重量	600kg
外形尺寸 cm	60100170

型號	FLT-215W/ETCU-015W/ETCU-008W
管道	通道1	通道2	通道3
溫度范圍	-20℃～+50℃	+30℃～+100℃	+30℃～+40℃
溫度穩(wěn)定度	±0.1℃（可定制±0.01℃控溫精度設(shè)備）
冷卻能力	15kW@-10℃	13kW@PCW+15℃	8kW@PCW+10℃
加熱能力	2kW	6kW	Pump Heat Loss
流量/壓力 MAX	30L/min 0.85MPa	30L/min 0.85MPa	20L/min 0.8MPa
導(dǎo)熱介質(zhì)接口	ZG3/4	ZG3/4	ZG3/4
環(huán)境溫度	10～35 ℃	10～35 ℃	10～35 ℃
環(huán)境濕度	30～70%	30～70%	30～70%
冷卻水溫度	15～20℃	15～20℃	15～20℃
冷卻水流量	30L/min@15~20℃	15L/min@15~20℃	15L/min@15~20℃
斷路器	75A
?藝過程溫度控制	可根據(jù)?創(chuàng)?模型?建樹算法和串級算法相結(jié)合來控制遠(yuǎn)程?標(biāo)溫度（動態(tài)控溫）
重量	600kg
外形尺寸 cm	60100170