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半導(dǎo)體制造Chiller設(shè)備如何通過寬域控溫保障工藝穩(wěn)定性

2025年7月25日 13

在半導(dǎo)體制造過程中，從晶圓蝕刻到芯片封裝測試，各類工藝對溫度環(huán)境有著嚴苛且差異化的要求。半導(dǎo)體Chiller設(shè)備作為溫度控制的核心控溫裝置之一，通過多樣化的技術(shù)設(shè)計與靈活的調(diào)節(jié)能力，為不同工藝場景提供穩(wěn)定的溫度支持。

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