一、半導(dǎo)體Chiller設(shè)備的溫度控制原理

　　半導(dǎo)體Chiller設(shè)備的溫度控制基于閉環(huán)反饋調(diào)節(jié)機制，通過檢測 – 計算 – 執(zhí)行的循環(huán)實現(xiàn)目標(biāo)溫度的穩(wěn)定。其核心構(gòu)成包括溫度傳感器、控制器、制冷系統(tǒng)與加熱系統(tǒng)：溫度傳感器實時采集工藝環(huán)境的溫度信號，傳輸至控制器后與設(shè)定值對比，控制器根據(jù)偏差值調(diào)節(jié)制冷或加熱輸出，當(dāng)實際溫度高于設(shè)定值時，制冷系統(tǒng)啟動，通過制冷劑的相變吸熱降低溫度；當(dāng)實際溫度低于設(shè)定值時，加熱系統(tǒng)通過壓縮機制熱或電加熱補充熱量。

　　二、半導(dǎo)體Chiller設(shè)備在晶圓制造關(guān)鍵工藝中的應(yīng)用

　　1、光刻工藝中的溫度控制

　　光刻工藝對溫度變化要求較高，光刻膠的涂布、曝光與顯影均需在穩(wěn)定溫度下進行。Chiller設(shè)備通過控制光刻膠涂布臺的溫度，確保膠層厚度均勻，若溫度波動過大，可能導(dǎo)致光刻膠黏度變化，引發(fā)涂層厚薄不均。在曝光環(huán)節(jié)，Chiller設(shè)備為掩模版與晶圓載臺提供恒溫環(huán)境，避免因熱脹冷縮導(dǎo)致的套刻精度偏差。其控溫精度可滿足光刻工藝對溫度穩(wěn)定性的要求，確保曝光圖形的尺寸一致性。

　　2、刻蝕工藝中的溫度控制

　　刻蝕過程中，反應(yīng)腔的溫度直接影響刻蝕速率與剖面形態(tài)。Chiller設(shè)備通過控制反應(yīng)腔壁與晶圓載臺的溫度，維持等離子體反應(yīng)的穩(wěn)定性：溫度過高可能導(dǎo)致刻蝕劑過度反應(yīng)，造成圖形過刻；溫度過低則會降低反應(yīng)效果，影響刻蝕效率。此外，Chiller設(shè)備的動態(tài)控溫能力可應(yīng)對刻蝕過程中的熱負(fù)載變化，當(dāng)晶圓表面因等離子體轟擊產(chǎn)生熱量時，設(shè)備能快速調(diào)節(jié)制冷量，避免局部溫度升高導(dǎo)致的刻蝕均勻性下降。

　　三、半導(dǎo)體Chiller設(shè)備溫度控制的核心技術(shù)要求

　　1、控溫精度與穩(wěn)定性

　　晶圓制造工藝通常要求溫度控制精度在合理范圍以內(nèi)。Chiller設(shè)備通過成熟的控制算法實現(xiàn)這一要求：算法根據(jù)溫度變化趨勢提前調(diào)節(jié)輸出，減少滯后帶來的波動。同時，設(shè)備配備高精度溫度傳感器，結(jié)合實時數(shù)據(jù)采集與快速響應(yīng)的執(zhí)行機構(gòu)，確保在負(fù)載變化時仍能維持溫度穩(wěn)定。

　　2、溫度范圍與調(diào)節(jié)速率

　　不同工藝對溫度的需求差異較大，Chiller設(shè)備需覆蓋從低溫到高溫的寬區(qū)間。刻蝕工藝需在低溫環(huán)境下進行，而薄膜退火則可能需要苛刻的高溫。此外，工藝切換時的溫度調(diào)節(jié)速率需匹配生產(chǎn)節(jié)拍，快速升降溫能力可縮短工藝準(zhǔn)備時間，提高設(shè)備利用率。Chiller設(shè)備通過優(yōu)化制冷與加熱系統(tǒng)的功率配置，在保證控溫精度的前提下，實現(xiàn)溫度的快速切換。

　　3、介質(zhì)適應(yīng)性與系統(tǒng)安全性

　　晶圓制造中常用的導(dǎo)熱介質(zhì)包括硅油、乙二醇水溶液等，Chiller設(shè)備需根據(jù)溫度范圍選擇適配介質(zhì)：高溫場景則使用穩(wěn)定性更好的硅油，設(shè)備的循環(huán)系統(tǒng)采用耐腐蝕材料，避免介質(zhì)與管路反應(yīng)產(chǎn)生雜質(zhì)污染晶圓。同時，系統(tǒng)具備多重安全保護功能，防止因介質(zhì)泄漏或設(shè)備故障影響生產(chǎn)安全。

　　半導(dǎo)體Chiller設(shè)備通過準(zhǔn)確、穩(wěn)定的溫度控制，為晶圓制造的各環(huán)節(jié)提供了基礎(chǔ)保障。其在控溫精度、溫度范圍與系統(tǒng)安全性上的設(shè)計，契合了晶圓制造對工藝環(huán)境的嚴(yán)苛要求。

接觸式高低溫測試機

接觸式?低溫測試機應(yīng)?溫度范圍-75~+200℃，?持從極低溫到?溫的快速升溫和降溫，最快速率可達到75℃/min，能夠精確的控制溫度，誤差通常在±0.2℃以內(nèi)。

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精密恒溫恒濕機組

冠亞恒溫LNEYA精密恒溫恒濕機組，超精密空調(diào)是?種能精準(zhǔn)控制環(huán)境溫、濕度的空?調(diào)節(jié)設(shè)備，提供兩款設(shè)備型號，常規(guī)水冷款和迷你型風(fēng)冷款。機組采??品質(zhì)潔凈型?機、潔凈型箱體、?藝，避免?次環(huán)境污染

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雙通道系列 Dual Channel Chiller

FLTZ系列雙通道Chillers主要用于半導(dǎo)體制程中對反應(yīng)腔室溫度的精準(zhǔn)控制，公司在系統(tǒng)中應(yīng)用多種算法（PID、前饋PID、無模型自建樹算法），顯著提升系統(tǒng)的響應(yīng)速度、控制精度和穩(wěn)定性。

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ZLTZ直冷控溫機組Chiller

ZLTZ直冷控溫機組Chiller適合應(yīng)?于微通道反應(yīng)器、板式換熱器、冷板、熱沉板、管式反應(yīng)器等換熱?積?、制冷量?、溫差?的控溫需求場所；設(shè)備可?動回收導(dǎo)熱介質(zhì)；

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單通道系列 Single Channel Chiller

FLTZ系列單通道Chillers主要應(yīng)用與半導(dǎo)體生產(chǎn)過程中及測試環(huán)節(jié)的溫度精準(zhǔn)控制，公司在系統(tǒng)中應(yīng)用多種算法（PID、前饋PID、無模型自建樹算法），實現(xiàn)系統(tǒng)快速響應(yīng)、較高的控制精度。

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三通道系列 Triple Channel Chiller

FLTZ系列三通道Chillers主要應(yīng)用與半導(dǎo)體生產(chǎn)過程中及測試環(huán)節(jié)的溫度精準(zhǔn)控制，系統(tǒng)支持三個通道獨立控溫，每個通道有獨立的溫度范圍、冷卻加熱能力、導(dǎo)熱介質(zhì)流量等。

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ZLJ/SLJ系列超低溫直冷機

適用范圍 將制冷系統(tǒng)中的制冷劑直接輸出蒸發(fā)進??標(biāo)控制元件（換熱器）換熱，從?使?標(biāo)控制對象降溫。具備換熱能力相對于流體（?體）輸送?換熱器換熱能?更??般在5倍以上，這樣特別適?于換熱器換熱?積?，但是換熱量?的運?場所。 也可以如?體捕集運?，將制冷劑直接通?捕集器蒸發(fā)，通過捕集器表?冷凝效應(yīng)，迅速捕集空間中的?體。 …

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真空控溫卡盤Chuck

冠亞恒溫LNEYA真空控溫卡盤Chuck提供8寸卡盤、12寸卡盤以及非標(biāo)定制方形冷板，支持-70~+200℃寬溫度范圍，也可以定制各種其他溫度范圍，內(nèi)置多個溫度傳感器，多區(qū)控溫，精確FID調(diào)節(jié)控溫；支持直冷、液冷、?冷；

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LQ系列氣體冷卻裝置

適用范圍 應(yīng)?于將?體（?腐蝕）降溫使?：如?燥壓縮空?、氮?、氬?等常溫?體通?到LQ系列設(shè)備內(nèi)部，出來的?體即可達到?標(biāo)低溫溫度，供給需求測試的元件或換熱器中。 產(chǎn)品特點 Product Features 產(chǎn)品參數(shù) Product Parameter 所有設(shè)備額定測試條件：?球溫度：20℃；濕球溫度：16℃。進?溫度：20℃；出…

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AI系列循環(huán)風(fēng)系統(tǒng)

適用范圍 運?于半導(dǎo)體設(shè)備?低溫測試。電?設(shè)備?溫低溫恒溫測試?yán)錈嵩?；?的制冷循環(huán)?機組；可連續(xù)?時間?作，?動除霜，除霜過程不影響庫溫； 模塊化設(shè)計，備?機替換容易（只要?臺備?機組即可）；解決頻繁開關(guān)?，蒸發(fā)系統(tǒng)結(jié)霜問題；蒸發(fā)系統(tǒng)除霜過程不影響。構(gòu)筑?套?低溫恒溫室變的簡單（根據(jù)提供的圖紙，像搭積??般拼接好箱體，連接好電和?，設(shè)…

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AES系列熱流儀

適用范圍 射流式?低溫沖擊測試機給芯?、模塊、集成電路板、電?元器件等提供精確且快速的環(huán)境溫度。是對產(chǎn)品電性能測試、失效分析、可靠性評估的儀器設(shè)備。 產(chǎn)品特點 Product Features ? 產(chǎn)品參數(shù) Product Parameter 行業(yè)應(yīng)用 APPLICATION 半導(dǎo)體封測工藝過程控溫解決方案 半導(dǎo)體封測…

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AET系列氣體快速溫變測試機

適用范圍 壓縮空?進??體快速溫變測試機，內(nèi)置有?燥器，預(yù)先把?體?燥到露點溫度-70度以下，進?制冷加熱控溫輸出穩(wěn)定流量壓?恒溫的?體，對?標(biāo)對象進?控溫（如各類控溫卡盤、腔體環(huán)境、熱承板、料梭、腔體、電?元件等），可根據(jù)遠(yuǎn)程卡盤上的溫度傳感器進??藝過程控溫，?動調(diào)節(jié)輸出?體的溫度。 產(chǎn)品特點 Product Features …

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Dryer氣體干燥器

適用范圍 應(yīng)?于傳感器、半導(dǎo)體制造、薄膜和包裝材料執(zhí)照、粉狀物料運輸、噴涂系統(tǒng)、?品?業(yè)、制藥?業(yè)等需要實現(xiàn)-80℃低露點?燥和清潔的分布式?源。 產(chǎn)品特點 Product Features 產(chǎn)品參數(shù) Product Parameter 行業(yè)應(yīng)用 APPLICATION 半導(dǎo)體封測工藝過程控溫解決方案 半導(dǎo)體封測工藝是…

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面板系列Panel Chiller

面板系列Chiller應(yīng)?于刻蝕、蒸鍍、鍍膜?藝等，支持?流量?負(fù)載，確保極端?況下持續(xù)穩(wěn)定運?；支持冷卻?動態(tài)調(diào)節(jié)系統(tǒng)，可根據(jù)環(huán)境溫度與設(shè)備熱負(fù)荷，實時調(diào)節(jié)?溫。

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帕爾貼Chiller

冠亞恒溫LNEYA 帕爾貼熱電制冷器CHILLER溫度范圍從-20到90℃，專為半導(dǎo)體行業(yè)度身定制； 基于經(jīng)過實踐驗證的帕爾貼熱傳導(dǎo)原理，帕爾貼溫度控制系統(tǒng)能夠為等離子刻蝕應(yīng)用提供可重復(fù)性的溫度控制；

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　　一、三通道直冷機的工作原理與系統(tǒng)架構(gòu)

　　三通道直冷機的核心在于其多回路制冷系統(tǒng)，每個通道可單獨控制溫度，適用于需要同時處理多個不同溫區(qū)的場景。其制冷循環(huán)基于蒸氣壓縮原理，但相較于單通道直冷機，三通道系統(tǒng)采用多壓縮機并聯(lián)或復(fù)疊式制冷技術(shù)，確保各通道的制冷能力可單獨調(diào)節(jié)。  

　　1、制冷循環(huán)分析

　　該制冷循環(huán)系統(tǒng)采用多通道控溫設(shè)計，各通道配備高性能變頻壓縮機，將氣態(tài)制冷劑壓縮至高溫高壓狀態(tài)；隨后制冷劑通過風(fēng)冷或水冷冷凝器進行放熱液化，部分機型采用板式換熱器以提升熱交換效率；系統(tǒng)通過電子膨脹閥準(zhǔn)確調(diào)節(jié)制冷劑流量，確保蒸發(fā)溫度穩(wěn)定；制冷劑在目標(biāo)設(shè)備內(nèi)直接蒸發(fā)吸熱，省去傳統(tǒng)載冷劑的中間傳熱環(huán)節(jié)，降低傳熱損失。

　　2、三通道控制機制

　　該三通道單獨控制系統(tǒng)為每個通道配置了高精度溫度傳感器和壓力變送器，實時準(zhǔn)確監(jiān)測蒸發(fā)器運行狀態(tài)；系統(tǒng)采用PLC控制器，通過智能PID算法動態(tài)調(diào)節(jié)壓縮機轉(zhuǎn)速和電子膨脹閥開度，確保溫度控制精度穩(wěn)定。該設(shè)計使得三通道直冷機能夠同時處理不同溫區(qū)的制冷需求，在半導(dǎo)體測試中，可分別控制芯片、電源模塊和光學(xué)器件的冷卻溫度，避免傳統(tǒng)單通道系統(tǒng)因溫度失控導(dǎo)致的控溫偏差。  

　　二、行業(yè)應(yīng)用分析

　　1、半導(dǎo)體制造與測試

　　在半導(dǎo)體制造領(lǐng)域，三通道直冷機憑借其多通道控溫特性，廣泛應(yīng)用于晶圓刻蝕、芯片測試和封裝等關(guān)鍵工藝環(huán)節(jié)：針對晶圓刻蝕工藝中不同反應(yīng)腔對特定低溫的差異化需求，三通道系統(tǒng)可實現(xiàn)各腔體的準(zhǔn)確控溫；在進行高功率芯片可靠性測試時，系統(tǒng)可同時對供電模塊、信號處理單元和光學(xué)傳感器實施分區(qū)溫度管理，避免熱干擾問題；在芯片封裝過程的塑封和鍵合階段，通過為不同材料提供定制化溫控方案，提升了產(chǎn)品良率和工藝穩(wěn)定性，充分滿足半導(dǎo)體制造對溫度控制的高精度要求。

　　2、化工與制藥行業(yè)

　　在化工與制藥行業(yè)，三通道直冷機為工藝過程提供準(zhǔn)確溫度管理解決方案：針對化學(xué)反應(yīng)釜的特殊工藝需求，系統(tǒng)可實現(xiàn)在低溫條件下安全引發(fā)聚合反應(yīng)，并快速切換至高溫維持合適的反應(yīng)速率；在醫(yī)藥凍干工藝中，通過單獨控制預(yù)凍、升華和解析三個關(guān)鍵階段的溫度參數(shù)，提升了效率和質(zhì)量，這種溫控能力使三通道直冷機成為化工制藥行業(yè)工藝優(yōu)化和設(shè)備升級的選擇。

　　3、新能源與汽車測試

　　在新能源與汽車測試領(lǐng)域，三通道直冷機展現(xiàn)出多工況模擬能力，解決了傳統(tǒng)單通道系統(tǒng)無法兼顧多溫區(qū)的技術(shù)難題，提升燃料電池系統(tǒng)的整體測試效率和能源利用率，為新能源研發(fā)驗證提供測試支持。

三通道直冷機憑借多回路控溫能力，在半導(dǎo)體、化工、醫(yī)藥、大型服務(wù)器及新能源等領(lǐng)域展現(xiàn)出較高的適用性。其直接蒸發(fā)換熱的原理減少了中間傳熱損失，結(jié)合變頻調(diào)節(jié)和智能控制算法，能夠滿足復(fù)雜工業(yè)場景下的準(zhǔn)確溫控需求。

接觸式高低溫測試機

接觸式?低溫測試機應(yīng)?溫度范圍-75~+200℃，?持從極低溫到?溫的快速升溫和降溫，最快速率可達到75℃/min，能夠精確的控制溫度，誤差通常在±0.2℃以內(nèi)。

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雙通道系列 Dual Channel Chiller

FLTZ系列雙通道Chillers主要用于半導(dǎo)體制程中對反應(yīng)腔室溫度的精準(zhǔn)控制，公司在系統(tǒng)中應(yīng)用多種算法（PID、前饋PID、無模型自建樹算法），顯著提升系統(tǒng)的響應(yīng)速度、控制精度和穩(wěn)定性。

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ZLTZ直冷控溫機組Chiller

ZLTZ直冷控溫機組Chiller適合應(yīng)?于微通道反應(yīng)器、板式換熱器、冷板、熱沉板、管式反應(yīng)器等換熱?積?、制冷量?、溫差?的控溫需求場所；設(shè)備可?動回收導(dǎo)熱介質(zhì)；

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LT系列低溫冷凍機

適用范圍 冠亞恒溫低溫冷凍機溫度范圍從-150℃到-5℃，采用二次過冷技術(shù)，制冷迅速。產(chǎn)品可靠性強，性能優(yōu)異。 產(chǎn)品特點 Product Features 產(chǎn)品參數(shù) Product Parameter LT 10℃~30℃ LT -25℃~30℃ LT -45℃~30℃ LT -60℃~-30℃ LT -80℃~-40℃ 所有設(shè)備額定測試條件：?球溫度：20℃；濕球溫度：16℃。進?溫度…

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LTZ變頻系列低溫冷凍機組

適用范圍 LTZ系列低溫冷凍機采用變頻技術(shù)，實現(xiàn)產(chǎn)品?效節(jié)能，控溫范圍：-100℃～30℃，控溫精度：±0.3℃。變頻壓縮機組通過內(nèi)置變頻裝置隨時根據(jù)??冷熱負(fù)荷需求改變直流壓縮機的運?轉(zhuǎn)速，從?避免壓縮機與電加熱滿負(fù)荷對抗，保持機組穩(wěn)定的?作狀態(tài)，達到節(jié)能效果。 產(chǎn)品特點 Product Features 產(chǎn)品參數(shù) Produ…

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HLTZ系列氫氣高效換熱制冷機組

適用范圍 氫氣經(jīng)過內(nèi)高壓換熱器，制冷系統(tǒng)通過制冷劑直接與氫氣換熱，實現(xiàn)高效換熱控溫；設(shè)備本體采用正壓防爆系統(tǒng)，正壓系統(tǒng)內(nèi)置有恒溫器，確保系統(tǒng)環(huán)境維持在常溫。相對于傳統(tǒng)防凍液或其他流體與氫氣換熱，本設(shè)備采用介質(zhì)為制冷系統(tǒng)制冷劑（相變熱），能效更高；內(nèi)置有可再生干燥機，確保正壓系統(tǒng)內(nèi)部干燥，沒有冷凝水；可與耐高壓微通道換熱器或殼管換熱器（9…

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LG螺桿機組系列

適用范圍 本系列設(shè)備適?于各類化?、醫(yī)藥、機械等領(lǐng)域?產(chǎn)?藝?yán)湓?，可提?110℃~30℃冷凍介質(zhì)，可作為冰蓄冷、低溫送?及其它?產(chǎn)?藝所要求的?藝?yán)湓础?產(chǎn)品特點 Product Features 產(chǎn)品參數(shù) Product Parameter LG 5℃~30℃ LG 5℃~30℃ LG -45℃~-10℃ LG -60℃~-10℃ LG -80℃~-30℃ LG -110℃~-50℃ 行業(yè)…

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2度純水DI制冷控溫機組

適用范圍 特別適合生產(chǎn)過程中2℃~5℃DI水需求的應(yīng)用場景。 產(chǎn)品特點 Product Features 產(chǎn)品參數(shù) Product Parameter 行業(yè)應(yīng)用 APPLICATION 新材料|特氣生產(chǎn)控溫解決方案 新材料，作為新近發(fā)展或正在發(fā)展的具有優(yōu)異性能的結(jié)構(gòu)材料和有特殊性質(zhì)的功能材料，其研發(fā)和生產(chǎn)過程對溫度控制有著…

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LTZ變頻M系列

LTZ變頻M系列，適合應(yīng)?于?標(biāo)控溫對象已經(jīng)有蓄冷罐、循環(huán)泵，通過循環(huán)泵將介質(zhì)輸送?LTZ
M系列制冷控溫機組，構(gòu)成?個閉合循環(huán)制冷系統(tǒng)。

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單通道系列 Single Channel Chiller

FLTZ系列單通道Chillers主要應(yīng)用與半導(dǎo)體生產(chǎn)過程中及測試環(huán)節(jié)的溫度精準(zhǔn)控制，公司在系統(tǒng)中應(yīng)用多種算法（PID、前饋PID、無模型自建樹算法），實現(xiàn)系統(tǒng)快速響應(yīng)、較高的控制精度。

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三通道系列 Triple Channel Chiller

FLTZ系列三通道Chillers主要應(yīng)用與半導(dǎo)體生產(chǎn)過程中及測試環(huán)節(jié)的溫度精準(zhǔn)控制，系統(tǒng)支持三個通道獨立控溫，每個通道有獨立的溫度范圍、冷卻加熱能力、導(dǎo)熱介質(zhì)流量等。

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ZLJ/SLJ系列超低溫直冷機

適用范圍 將制冷系統(tǒng)中的制冷劑直接輸出蒸發(fā)進??標(biāo)控制元件（換熱器）換熱，從?使?標(biāo)控制對象降溫。具備換熱能力相對于流體（?體）輸送?換熱器換熱能?更??般在5倍以上，這樣特別適?于換熱器換熱?積?，但是換熱量?的運?場所。 也可以如?體捕集運?，將制冷劑直接通?捕集器蒸發(fā)，通過捕集器表?冷凝效應(yīng)，迅速捕集空間中的?體。 …

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真空控溫卡盤Chuck

冠亞恒溫LNEYA真空控溫卡盤Chuck提供8寸卡盤、12寸卡盤以及非標(biāo)定制方形冷板，支持-70~+200℃寬溫度范圍，也可以定制各種其他溫度范圍，內(nèi)置多個溫度傳感器，多區(qū)控溫，精確FID調(diào)節(jié)控溫；支持直冷、液冷、?冷；

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面板系列Panel Chiller

面板系列Chiller應(yīng)?于刻蝕、蒸鍍、鍍膜?藝等，支持?流量?負(fù)載，確保極端?況下持續(xù)穩(wěn)定運?；支持冷卻?動態(tài)調(diào)節(jié)系統(tǒng)，可根據(jù)環(huán)境溫度與設(shè)備熱負(fù)荷，實時調(diào)節(jié)?溫。

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帕爾貼Chiller

冠亞恒溫LNEYA 帕爾貼熱電制冷器CHILLER溫度范圍從-20到90℃，專為半導(dǎo)體行業(yè)度身定制； 基于經(jīng)過實踐驗證的帕爾貼熱傳導(dǎo)原理，帕爾貼溫度控制系統(tǒng)能夠為等離子刻蝕應(yīng)用提供可重復(fù)性的溫度控制；

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　　案例一：光刻過程中的溫度控制

　　應(yīng)用描述：光刻是晶圓制造中的關(guān)鍵步驟，需要將光敏抗蝕劑通過曝光形成所需電路圖案。溫度的波動會影響光刻膠的均勻性和曝光質(zhì)量。

　　解決方案：使用無錫冠亞Chiller為光刻機提供穩(wěn)定的溫度控制，確保光刻膠在恒定溫度下曝光，減少因溫度變化引起的缺陷。

　　效果：晶圓制造領(lǐng)域控溫chiller通過準(zhǔn)確的溫度控制，提高了光刻過程的一致性和產(chǎn)量，減少了廢品率。

　　案例二：化學(xué)氣相沉積（CVD）過程中的溫度管理 

　　應(yīng)用描述：CVD是用于在晶圓表面沉積薄膜的技術(shù)。溫度控制對于薄膜的質(zhì)量和均勻性影響比較大。

　　解決方案：無錫冠亞Chiller被用于維持CVD反應(yīng)室內(nèi)的準(zhǔn)確溫度，以確保沉積過程的穩(wěn)定性和薄膜質(zhì)量。

　　效果：晶圓制造領(lǐng)域控溫chiller準(zhǔn)確的溫度控制有助于提高薄膜的均勻性和附著力，減少缺陷和提高器件性能。

　　案例三：刻蝕過程中的溫度調(diào)節(jié)

　　應(yīng)用描述：在晶圓制造過程中，刻蝕步驟需要去除多余的材料以形成電路圖案。溫度控制對于刻蝕速率和選擇性影響比較大。

　　解決方案：使用無錫冠亞Chiller為刻蝕設(shè)備提供準(zhǔn)確的溫度控制，以優(yōu)化刻蝕液的性能和刻蝕過程的均勻性。

　　效果：晶圓制造領(lǐng)域控溫chiller通過準(zhǔn)確控制刻蝕液的溫度，提高了刻蝕過程的精度和產(chǎn)量，減少了邊緣粗糙度和刻蝕不均勻的問題。

　　案例四：清洗過程中的溫度維持

　　應(yīng)用描述：晶圓在制造過程中需要經(jīng)過多次清洗以去除殘留物。清洗液的溫度直接影響清洗效果。

　　解決方案：無錫冠亞Chiller被用于維持清洗液的恒定溫度，以確保清洗過程的有效性。

　　效果：晶圓制造領(lǐng)域控溫chiller恒定的溫度控制提高了清洗效率，減少了殘留物和提高了晶圓的清潔度。

　　案例五：離子注入過程中的溫度控制 

　　應(yīng)用描述：離子注入是改變晶圓表面電學(xué)性質(zhì)的過程。溫度控制對于注入劑量和分布的準(zhǔn)確性影響比較大。

　　解決方案：無錫冠亞Chiller被用于維持離子注入機的溫度，以確保注入過程的穩(wěn)定性和均勻性。

　　效果：晶圓制造領(lǐng)域控溫chiller準(zhǔn)確的溫度控制有助于提高離子注入的均勻性和重復(fù)性，從而提高了器件的性能和可靠性。

這些案例展示了無錫冠亞Chiller在晶圓制造領(lǐng)域的多樣化應(yīng)用，晶圓制造領(lǐng)域控溫chiller通過提供準(zhǔn)確和穩(wěn)定的溫度控制，Chiller有助于提高晶圓制造過程的質(zhì)量和效率，確保產(chǎn)品的高性能和可靠性。

　　一、高低溫控溫系統(tǒng)一拖二在化工換熱器中的應(yīng)用優(yōu)勢

　　高精度溫控能力： 高低溫控溫系統(tǒng)一拖二采用冠亞恒溫的控制算法和有效的加熱、制冷技術(shù)，能夠?qū)崿F(xiàn)高精度的溫度控制?？販鼐瓤蛇_±0.3℃，確保換熱器內(nèi)溫度的穩(wěn)定，從而提高化工產(chǎn)品的質(zhì)量和收率。

　　快速響應(yīng)： 高低溫控溫系統(tǒng)具有快速的加熱響應(yīng)能力和高加熱效率，可以快速將油溫提高到系統(tǒng)設(shè)定的溫度，并在實時控制下對加熱功率進行調(diào)節(jié)。同時，有效的制冷技術(shù)也能夠在需要時迅速降低溫度，從而提高換熱器的效率。

　　多重保護機制： 高低溫控溫系統(tǒng)一拖二通過電子控制系統(tǒng)，利用多種保護裝置，如過熱保護、漏電保護等，確保設(shè)備的安全運行。這可以有效地防止換熱器在加熱或冷卻過程中發(fā)生意外事故，保障工作人員和設(shè)備的安全。

　　寬溫度控制范圍和靈活應(yīng)用： 高低溫控溫系統(tǒng)溫度控制范圍寬，適合多數(shù)企業(yè)的恒溫控制需求。制冷功率從0.5kW到1200kW均可提供相應(yīng)產(chǎn)品，滿足不同規(guī)模的化工生產(chǎn)需求。同時，通過可編程溫度控制器，用戶可以根據(jù)實際需求設(shè)定溫度控制參數(shù)，實現(xiàn)靈活應(yīng)用。

　　二、高低溫控溫系統(tǒng)一拖二在化工換熱器中的具體應(yīng)用

　　化工精餾釜的溫度控制： 在化工精餾過程中，需要對液體混合物進行蒸餾和分離。高低溫控溫系統(tǒng)一拖二能夠準(zhǔn)確控制精餾釜的溫度，確保蒸餾過程的穩(wěn)定性和效率。同時，通過連續(xù)的升降溫操作，大大節(jié)省了試驗時間和精力。

　　反應(yīng)釜的溫度控制： 化工用高低溫一體機可以配套反應(yīng)釜進行冷卻、加熱和溫度控制等作業(yè)。通過設(shè)定釜體和夾套內(nèi)的溫度差，當(dāng)溫差達到設(shè)定值時，設(shè)備會自動停止工作并報警提示，防止反應(yīng)釜因溫差過大而破裂。

　　換熱器的熱交換優(yōu)化： 高低溫控溫系統(tǒng)一拖二采用板式換熱器，熱交換面積大，熱交換速度快。通過優(yōu)化試驗箱內(nèi)的空氣循環(huán)系統(tǒng)和熱傳導(dǎo)路徑，可以減小溫度梯度和波動范圍，提高溫度均勻性和穩(wěn)定性。

高低溫控溫系統(tǒng)一拖二在化工換熱器中的應(yīng)用，不僅提高了溫度控制的精度和效率，還確保了設(shè)備的安全運行和化工產(chǎn)品的質(zhì)量。