半導(dǎo)體晶圓熱測試系統(tǒng)

冠亞高低溫測試?yán)鋮s盤，以其寬泛的溫度測試范圍、緊湊型制冷機(jī)，低能耗要求和純空氣可靠性而聞名。在雙通道冷卻操作中從冷卻空氣中提取zui大效果，消耗的超干燥、清潔的冷卻劑空氣可用作節(jié)省成本的吹掃氣體，以防止晶圓和其周圍區(qū)域結(jié)冰。在實(shí)驗(yàn)室和大規(guī)模生產(chǎn)中均表現(xiàn)出較高的性能。

用于在溫度下進(jìn)行晶片測試的導(dǎo)電加熱和冷卻系統(tǒng)。它的主要用途是用于在探針臺(tái)中進(jìn)行晶圓測試,以及激光修剪和晶圓老化。一些專門的應(yīng)用包括低泄漏探測(fA級(jí))和高壓探測(高達(dá)10kV)。

l -75℃至+225℃

l 150mm,200mm和300mm

l現(xiàn)有探針臺(tái)可進(jìn)行改造

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