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半導(dǎo)體刻蝕直冷機etch chiller的控溫技術(shù)及在刻蝕中的關(guān)鍵應(yīng)用

2025年7月11日 32

半導(dǎo)體制造工藝對溫度控制的準確性有著嚴苛的要求，特別是在刻蝕環(huán)節(jié)，溫度波動會直接影響刻蝕速率、選擇比和線寬精度?？涛g直冷機etch chiller作為一種直接將制冷劑輸送至目標控溫元件的設(shè)備，在半導(dǎo)體刻蝕領(lǐng)應(yīng)用廣泛。

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