一、溫度范圍覆蓋：從苛刻低溫到高溫的全場景適配
半導體工藝的溫度需求跨度較大，從蝕刻環(huán)節(jié)的超低溫到芯片老化測試的高溫環(huán)境，Chiller設備需具備寬域溫度調(diào)節(jié)能力，且能在特定區(qū)間內(nèi)保持穩(wěn)定輸出。
針對低溫需求工藝，Chiller設備通過復疊式制冷技術實現(xiàn)低溫控制。該技術將多個壓縮機制冷循環(huán)串聯(lián)，通過熱量逐級傳遞實現(xiàn)低溫度輸出，可覆蓋從低溫到常溫的溫度區(qū)間。這種設計能滿足刻蝕過程中對晶圓表面溫度的準確控制，避免因局部溫度波動導致的刻蝕精度偏差。而對于高溫需求場景，在半導體高溫測試，專用Chiller設備通過壓縮機制熱與電加熱結(jié)合的方式，可實現(xiàn)高溫介質(zhì)溫度輸出，且通過特殊工藝設計確保高溫下的控溫穩(wěn)定性，滿足芯片在苛刻溫度下的性能驗證需求。
此外，部分工藝需要在流程中實現(xiàn)溫度的快速切換，Chiller設備通過優(yōu)化制冷與加熱系統(tǒng)的切換邏輯，配合換熱器設計，可在短時間內(nèi)完成較大幅度的溫度調(diào)整，滿足工藝對溫度變化速率的要求。這種靈活的溫度調(diào)節(jié)能力，使得單一設備可適配多步驟工藝的溫度需求，減少設備更換帶來的問題。
二、控溫精度保障
不同半導體工藝對溫度精度的要求有所差異，Chiller設備通過多層級的控制技術實現(xiàn)精度分級適配?；A控溫層面，采用PID控制算法作為核心調(diào)節(jié)邏輯。該算法通過實時對比設定溫度與實際溫度的偏差，動態(tài)調(diào)整制冷量或加熱功率，使溫度波動控制在合理范圍以內(nèi)，滿足芯片封裝、一般性可靠性測試等工藝需求。對于更高精度要求的場景，在晶圓刻蝕，Chiller設備引入前饋PID與無模型自建樹算法結(jié)合的控制策略。
溫度均勻性同樣是控溫精度的重要組成部分。在晶圓處理等大面積控溫場景中，Chiller設備通過優(yōu)化循環(huán)液流道設計與流量分配，配合多點溫度傳感反饋，確保被控對象各區(qū)域的溫度差異控制在較小范圍內(nèi)。
三、工藝適配設計：針對場景特性定制化的解決方案
不同半導體工藝的運行環(huán)境、介質(zhì)需求及負載特性存在差異，Chiller 設備通過結(jié)構優(yōu)化與功能定制，實現(xiàn)與工藝場景的準確匹配。在介質(zhì)兼容性方面，Chiller設備根據(jù)工藝中使用的導熱介質(zhì)特性設計流道與材質(zhì)。針對特殊的蝕刻工藝，設備內(nèi)部管路采用耐腐蝕材料，避免介質(zhì)腐蝕導致的性能變化；而對于純水介質(zhì)的清洗工藝，通過全密閉循環(huán)系統(tǒng)設計，防止水質(zhì)污染與微生物滋生，同時避免低溫下結(jié)凍問題。這種材質(zhì)與結(jié)構的定制化設計，確保 Chiller 設備在不同介質(zhì)環(huán)境下的穩(wěn)定運行。針對多工藝并行場景，多通道Chiller設備通過單獨控溫系統(tǒng)設計，可同時為多個工藝環(huán)節(jié)提供溫度支持。每個通道具備單獨的溫度設定、流量調(diào)節(jié)及介質(zhì)循環(huán)能力，各通道間互不干擾。
半導體Chiller設備對不同工藝溫度需求的滿足，本質(zhì)上是技術多樣性與場景適配性的結(jié)合。隨著半導體制程的不斷升級，Chiller設備正通過更精細的溫度調(diào)節(jié)、更靈活的場景適配，持續(xù)為半導體制造提供可靠的溫度保障。
雙通道系列 Dual Channel Chiller
FLTZ系列雙通道Chillers主要用于半導體制程中對反應腔室溫度的精準控制，公司在系統(tǒng)中應用多種算法（PID、前饋PID、無模型自建樹算法），顯著提升系統(tǒng)的響應速度、控制精度和穩(wěn)定性。
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LTZ變頻系列低溫冷凍機組
適用范圍 LTZ系列低溫冷凍機采用變頻技術，實現(xiàn)產(chǎn)品?效節(jié)能，控溫范圍：-100℃～30℃，控溫精度：±0.3℃。變頻壓縮機組通過內(nèi)置變頻裝置隨時根據(jù)??冷熱負荷需求改變直流壓縮機的運?轉(zhuǎn)速，從?避免壓縮機與電加熱滿負荷對抗，保持機組穩(wěn)定的?作狀態(tài)，達到節(jié)能效果。 產(chǎn)品特點 Product Features 產(chǎn)品參數(shù) Produ…
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HLTZ系列氫氣高效換熱制冷機組
適用范圍 氫氣經(jīng)過內(nèi)高壓換熱器，制冷系統(tǒng)通過制冷劑直接與氫氣換熱，實現(xiàn)高效換熱控溫；設備本體采用正壓防爆系統(tǒng)，正壓系統(tǒng)內(nèi)置有恒溫器，確保系統(tǒng)環(huán)境維持在常溫。相對于傳統(tǒng)防凍液或其他流體與氫氣換熱，本設備采用介質(zhì)為制冷系統(tǒng)制冷劑（相變熱），能效更高；內(nèi)置有可再生干燥機，確保正壓系統(tǒng)內(nèi)部干燥，沒有冷凝水；可與耐高壓微通道換熱器或殼管換熱器（9…
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2度純水DI制冷控溫機組
適用范圍 特別適合生產(chǎn)過程中2℃~5℃DI水需求的應用場景。 產(chǎn)品特點 Product Features 產(chǎn)品參數(shù) Product Parameter 行業(yè)應用 APPLICATION 新材料|特氣生產(chǎn)控溫解決方案 新材料，作為新近發(fā)展或正在發(fā)展的具有優(yōu)異性能的結(jié)構材料和有特殊性質(zhì)的功能材料，其研發(fā)和生產(chǎn)過程對溫度控制有著…
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單通道系列 Single Channel Chiller
FLTZ系列單通道Chillers主要應用與半導體生產(chǎn)過程中及測試環(huán)節(jié)的溫度精準控制，公司在系統(tǒng)中應用多種算法（PID、前饋PID、無模型自建樹算法），實現(xiàn)系統(tǒng)快速響應、較高的控制精度。
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三通道系列 Triple Channel Chiller
FLTZ系列三通道Chillers主要應用與半導體生產(chǎn)過程中及測試環(huán)節(jié)的溫度精準控制，系統(tǒng)支持三個通道獨立控溫，每個通道有獨立的溫度范圍、冷卻加熱能力、導熱介質(zhì)流量等。
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面板系列Panel Chiller
面板系列Chiller應?于刻蝕、蒸鍍、鍍膜?藝等，支持?流量?負載，確保極端?況下持續(xù)穩(wěn)定運?；支持冷卻?動態(tài)調(diào)節(jié)系統(tǒng)，可根據(jù)環(huán)境溫度與設備熱負荷，實時調(diào)節(jié)?溫。
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帕爾貼Chiller
冠亞恒溫LNEYA 帕爾貼熱電制冷器CHILLER溫度范圍從-20到90℃，專為半導體行業(yè)度身定制； 基于經(jīng)過實踐驗證的帕爾貼熱傳導原理，帕爾貼溫度控制系統(tǒng)能夠為等離子刻蝕應用提供可重復性的溫度控制；
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ETCU換熱控溫單元
ETCU換熱控溫單元冷卻?溫度范圍：+5℃?+90℃，控溫精度±0.05℃；系統(tǒng)?壓縮機，通過換熱降溫；?持?標定制，?持PC遠程控制；采?西??/霍尼?爾調(diào)節(jié)閥控制冷卻?流量；最?循環(huán)量時，控溫溫度與冷卻?溫度溫差15°C。
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LTZ變頻帶加熱系列
LTZ變頻帶加熱系列，產(chǎn)品支持加熱功能，控溫范圍： -40℃～+90℃，控溫精度：±0.3℃。變頻機組采?先進的變頻技術，精確控制壓縮和?機運?轉(zhuǎn)速，通過電?膨脹閥智能調(diào)節(jié)，快速制冷。
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一、半導體Chiller設備的溫度控制原理
半導體Chiller設備的溫度控制基于閉環(huán)反饋調(diào)節(jié)機制，通過檢測 – 計算 – 執(zhí)行的循環(huán)實現(xiàn)目標溫度的穩(wěn)定。其核心構成包括溫度傳感器、控制器、制冷系統(tǒng)與加熱系統(tǒng)：溫度傳感器實時采集工藝環(huán)境的溫度信號，傳輸至控制器后與設定值對比，控制器根據(jù)偏差值調(diào)節(jié)制冷或加熱輸出，當實際溫度高于設定值時，制冷系統(tǒng)啟動，通過制冷劑的相變吸熱降低溫度；當實際溫度低于設定值時，加熱系統(tǒng)通過壓縮機制熱或電加熱補充熱量。
二、半導體Chiller設備在晶圓制造關鍵工藝中的應用
1、光刻工藝中的溫度控制
光刻工藝對溫度變化要求較高，光刻膠的涂布、曝光與顯影均需在穩(wěn)定溫度下進行。Chiller設備通過控制光刻膠涂布臺的溫度，確保膠層厚度均勻，若溫度波動過大，可能導致光刻膠黏度變化，引發(fā)涂層厚薄不均。在曝光環(huán)節(jié)，Chiller設備為掩模版與晶圓載臺提供恒溫環(huán)境，避免因熱脹冷縮導致的套刻精度偏差。其控溫精度可滿足光刻工藝對溫度穩(wěn)定性的要求，確保曝光圖形的尺寸一致性。
2、刻蝕工藝中的溫度控制
刻蝕過程中，反應腔的溫度直接影響刻蝕速率與剖面形態(tài)。Chiller設備通過控制反應腔壁與晶圓載臺的溫度，維持等離子體反應的穩(wěn)定性：溫度過高可能導致刻蝕劑過度反應，造成圖形過刻；溫度過低則會降低反應效果，影響刻蝕效率。此外，Chiller設備的動態(tài)控溫能力可應對刻蝕過程中的熱負載變化，當晶圓表面因等離子體轟擊產(chǎn)生熱量時，設備能快速調(diào)節(jié)制冷量，避免局部溫度升高導致的刻蝕均勻性下降。
三、半導體Chiller設備溫度控制的核心技術要求
1、控溫精度與穩(wěn)定性
晶圓制造工藝通常要求溫度控制精度在合理范圍以內(nèi)。Chiller設備通過成熟的控制算法實現(xiàn)這一要求：算法根據(jù)溫度變化趨勢提前調(diào)節(jié)輸出，減少滯后帶來的波動。同時，設備配備高精度溫度傳感器，結(jié)合實時數(shù)據(jù)采集與快速響應的執(zhí)行機構，確保在負載變化時仍能維持溫度穩(wěn)定。
2、溫度范圍與調(diào)節(jié)速率
不同工藝對溫度的需求差異較大，Chiller設備需覆蓋從低溫到高溫的寬區(qū)間?？涛g工藝需在低溫環(huán)境下進行，而薄膜退火則可能需要苛刻的高溫。此外，工藝切換時的溫度調(diào)節(jié)速率需匹配生產(chǎn)節(jié)拍，快速升降溫能力可縮短工藝準備時間，提高設備利用率。Chiller設備通過優(yōu)化制冷與加熱系統(tǒng)的功率配置，在保證控溫精度的前提下，實現(xiàn)溫度的快速切換。
3、介質(zhì)適應性與系統(tǒng)安全性
晶圓制造中常用的導熱介質(zhì)包括硅油、乙二醇水溶液等，Chiller設備需根據(jù)溫度范圍選擇適配介質(zhì)：高溫場景則使用穩(wěn)定性更好的硅油，設備的循環(huán)系統(tǒng)采用耐腐蝕材料，避免介質(zhì)與管路反應產(chǎn)生雜質(zhì)污染晶圓。同時，系統(tǒng)具備多重安全保護功能，防止因介質(zhì)泄漏或設備故障影響生產(chǎn)安全。
半導體Chiller設備通過準確、穩(wěn)定的溫度控制，為晶圓制造的各環(huán)節(jié)提供了基礎保障。其在控溫精度、溫度范圍與系統(tǒng)安全性上的設計，契合了晶圓制造對工藝環(huán)境的嚴苛要求。
雙通道系列 Dual Channel Chiller
FLTZ系列雙通道Chillers主要用于半導體制程中對反應腔室溫度的精準控制，公司在系統(tǒng)中應用多種算法（PID、前饋PID、無模型自建樹算法），顯著提升系統(tǒng)的響應速度、控制精度和穩(wěn)定性。
詳細信息ZLTZ直冷控溫機組Chiller
ZLTZ直冷控溫機組Chiller適合應?于微通道反應器、板式換熱器、冷板、熱沉板、管式反應器等換熱?積?、制冷量?、溫差?的控溫需求場所；設備可?動回收導熱介質(zhì)；
詳細信息單通道系列 Single Channel Chiller
FLTZ系列單通道Chillers主要應用與半導體生產(chǎn)過程中及測試環(huán)節(jié)的溫度精準控制，公司在系統(tǒng)中應用多種算法（PID、前饋PID、無模型自建樹算法），實現(xiàn)系統(tǒng)快速響應、較高的控制精度。
詳細信息三通道系列 Triple Channel Chiller
FLTZ系列三通道Chillers主要應用與半導體生產(chǎn)過程中及測試環(huán)節(jié)的溫度精準控制，系統(tǒng)支持三個通道獨立控溫，每個通道有獨立的溫度范圍、冷卻加熱能力、導熱介質(zhì)流量等。
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ZLJ/SLJ系列超低溫直冷機
適用范圍 將制冷系統(tǒng)中的制冷劑直接輸出蒸發(fā)進??標控制元件（換熱器）換熱，從?使?標控制對象降溫。具備換熱能力相對于流體（?體）輸送?換熱器換熱能?更??般在5倍以上，這樣特別適?于換熱器換熱?積?，但是換熱量?的運?場所。 也可以如?體捕集運?，將制冷劑直接通?捕集器蒸發(fā)，通過捕集器表?冷凝效應，迅速捕集空間中的?體。 …
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真空控溫卡盤Chuck
冠亞恒溫LNEYA真空控溫卡盤Chuck提供8寸卡盤、12寸卡盤以及非標定制方形冷板，支持-70~+200℃寬溫度范圍，也可以定制各種其他溫度范圍，內(nèi)置多個溫度傳感器，多區(qū)控溫，精確FID調(diào)節(jié)控溫；支持直冷、液冷、?冷；
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LQ系列氣體冷卻裝置
適用范圍 應?于將?體（?腐蝕）降溫使?：如?燥壓縮空?、氮?、氬?等常溫?體通?到LQ系列設備內(nèi)部，出來的?體即可達到?標低溫溫度，供給需求測試的元件或換熱器中。 產(chǎn)品特點 Product Features 產(chǎn)品參數(shù) Product Parameter 所有設備額定測試條件：?球溫度：20℃；濕球溫度：16℃。進?溫度：20℃；出…
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AI系列循環(huán)風系統(tǒng)
適用范圍 運?于半導體設備?低溫測試。電?設備?溫低溫恒溫測試冷熱源；獨?的制冷循環(huán)?機組；可連續(xù)?時間?作，?動除霜，除霜過程不影響庫溫； 模塊化設計，備?機替換容易（只要?臺備?機組即可）；解決頻繁開關?，蒸發(fā)系統(tǒng)結(jié)霜問題；蒸發(fā)系統(tǒng)除霜過程不影響。構筑?套?低溫恒溫室變的簡單（根據(jù)提供的圖紙，像搭積??般拼接好箱體，連接好電和?，設…
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AET系列氣體快速溫變測試機
適用范圍 壓縮空?進??體快速溫變測試機，內(nèi)置有?燥器，預先把?體?燥到露點溫度-70度以下，進?制冷加熱控溫輸出穩(wěn)定流量壓?恒溫的?體，對?標對象進?控溫（如各類控溫卡盤、腔體環(huán)境、熱承板、料梭、腔體、電?元件等），可根據(jù)遠程卡盤上的溫度傳感器進??藝過程控溫，?動調(diào)節(jié)輸出?體的溫度。 產(chǎn)品特點 Product Features …
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Dryer氣體干燥器
適用范圍 應?于傳感器、半導體制造、薄膜和包裝材料執(zhí)照、粉狀物料運輸、噴涂系統(tǒng)、?品?業(yè)、制藥?業(yè)等需要實現(xiàn)-80℃低露點?燥和清潔的分布式?源。 產(chǎn)品特點 Product Features 產(chǎn)品參數(shù) Product Parameter 行業(yè)應用 APPLICATION 半導體封測工藝過程控溫解決方案 半導體封測工藝是…
詳細信息面板系列Panel Chiller
面板系列Chiller應?于刻蝕、蒸鍍、鍍膜?藝等，支持?流量?負載，確保極端?況下持續(xù)穩(wěn)定運?；支持冷卻?動態(tài)調(diào)節(jié)系統(tǒng)，可根據(jù)環(huán)境溫度與設備熱負荷，實時調(diào)節(jié)?溫。
詳細信息帕爾貼Chiller
冠亞恒溫LNEYA 帕爾貼熱電制冷器CHILLER溫度范圍從-20到90℃，專為半導體行業(yè)度身定制； 基于經(jīng)過實踐驗證的帕爾貼熱傳導原理，帕爾貼溫度控制系統(tǒng)能夠為等離子刻蝕應用提供可重復性的溫度控制；
詳細信息品頁特點圖標-1.png)
產(chǎn)品參數(shù)
Product Parameter
| 設備型號 | KSD-705 | KSD-705PULS | KSD-710 | |
| 溫度范圍 | -70℃~+200℃ | -75℃~200℃ | -75℃~200℃ | |
| 溫度精度 | ±0.2℃ | |||
| 升降溫速率 | 最高達75℃/min | |||
| 制冷能力 | 0℃ | 800W | 1000W | 2000W |
| ?-40℃ | 500W | 800W | 1500W | |
| ?-55℃ | 300W | 450W | 900W | |
| 測試壓頭規(guī)格 | 75*75mm | 75*75mm | 120*120mm | |
| 溫度監(jiān)測類型 | T型/K型/PT100 | |||
| 控溫點位置 | Plunger 表面溫度 | |||
| 操控?板 | 7寸觸摸屏 | |||
| 控制器 | PLC可編程控制器，標配支持ModbuSRTU協(xié)議，RS485接口，可選擇其他通信協(xié)議 | |||
| 電源 | 200v~230v? 50hz/60hz | |||
| 設備外形尺?mm | 465*600*365 | 500*600*400 | 550*750*550 | |
| 測試件受?調(diào)節(jié) | 配置 Z軸氣動執(zhí)行器 | 配置 Z軸氣動執(zhí)行器 | 測試架外置氣缸 | |
| CDA要求 | 配置 LNEYA Dryer 氣體干燥器系列 | |||
| 通訊 | Madbus RTU /TCP 、Prfibus DP 、CAN 、Rrofinet | |||
產(chǎn)品推薦
Recommendation
Semiconductor Chiller
適用范圍
冠亞恒溫LNEYA精密恒溫恒濕機組是?種能精準控制環(huán)境溫、濕度的空?調(diào)節(jié)設備，提供兩款設備型號，常規(guī)水冷款和迷你型風冷款。
半導體、液晶和太陽能電池板等設備的?產(chǎn)設施中使?的設備、?產(chǎn)流程、檢驗流程及空間，需要?度精確和穩(wěn)定的空?處理。為了滿?這些需求，全區(qū)域空?處理將需要極?的相關費?和維護成本。
機組采??品質(zhì)潔凈型?機、潔凈型箱體、?藝，避免?次環(huán)境污染；可適配部分新?功能，更加?便滿?特殊使?環(huán)境的暖通要求，?能滿??藝要求；常年?作，可靠性更?。
產(chǎn)品參數(shù)
Product Parameter
精密恒溫恒濕機組（水冷）
該機組也可?在制藥?、醫(yī)院、實驗室等?潔凈度要求且?精度溫、濕度要求的場所，能保持溫、濕度恒定在?個設定的范圍內(nèi)，波動范圍很?。
| 產(chǎn)品型號 | LW-0090-BW01 | LWX-0090-BW01 | LW-0100-BW01 | LWX-0100-BW01 | |
| 額定處理風量 | m3/h | 8000～9000 | 9000～10000 | ||
| 可設定溫濕度范圍 | ℃/ %RH | 22～23;45%RH | 22～23;45%RH | 22～23 | 22～23；45%RH～70%RH |
| 溫度控制精度 | ℃ | ±0.1℃（可定制±0.01℃控溫精度設備） | |||
| 濕度控制精度 | %RH | / | ±1%RH | / | ±1%RH |
| 最大制冷量 | kW | 20kW @25℃ | 16kW @26℃ | ||
| 最大加濕能力 | Kg/h | / | 5 | / | 2.3 |
| 新風比? ② | 20% | 20% | / | / | |
| 設備新風溫、濕度范圍 | ℃/ %RH | 23±2；；40%～60%±2%RH | 25; 50%RH | ||
| 設備回風溫、濕度范圍 | ℃/ %RH | 23±0.1；45%RH ±2%RH | / | ||
| 最大機外送風靜壓 | Pa | 300～400 | 0～200 | ||
| 送風口接管直徑 | mm | φ500 | φ500 | ||
| 加濕供水溫度范圍 | ℃ | / | 10～40 | / | 10～40 |
| 加濕補水管接口 | / | / | Rc1/2 | / | Rc1/2 |
| 加濕補水壓力值 | bar | / | 1～4 | / | 1～4 |
| 水質(zhì)要求 | / | / | *導電率75～1250μs/cm? *水硬度不高于40°f? *無有機化合物 | / | *導電率75～1250μs/cm *水硬度不高于40°f? *無有機化合物 |
| 冷卻水溫度 | ℃ | 18～22 | 18～22 | ||
| 冷卻水接管 | G1" | G1" | |||
| 電源供應 | V/Hz | 3～380v±10%; 50Hz±5Hz??三相五線制 | |||
| 機組額定輸入功率 | kW | 12.5 | 12.5 | 4 | 4 |
| 機組運行最大電流值 | A | 23 | 23 | 7 | 7 |
| 機組噪音值 | dB(A) | ≤80 | ≤75 | ||
| 機組最大輸入功率 | kWA | 15 | 8 | ||
| 冷媒/充注量 | Kg | R410A/4 | R410A/4 | ||
| 安全保護功能 | 電源過欠壓、逆缺相保護； 電機過熱載保護；壓縮機排氣溫度過高保護、 系統(tǒng)高壓保護、系統(tǒng)低壓保護、溫度模塊故障保護、可調(diào)式超溫保護，風機電機過熱保護等 | ||||
| 機組凈重 | Kg | 750 | 800 | 650 | 680 |
| 機組毛重 | Kg | 800 | 850 | 700 | 750 |
| 機組外形尺寸(L*B*H) | cm | 213*100*200 | 120*120*195 | ||
| 機組包裝尺寸(L*B*H) | cm | 230*115*210 | 135*135*205 | ||
1、溫度和濕度控制可適用于不同的設定溫度下，亦可以在一個固定的使用溫、濕度下恒定工作。
2、機組可以根據(jù)實際情況，配比一定的新風量以滿足暖通新風要求。
3、精密型恒溫恒濕機組使用新、回風溫濕度范圍。
4、在最大額定工藝風量下運行時，送風機出口側(cè)空氣出口處的恒定靜壓；也可以根據(jù)末端是否配置有FFU調(diào)整 5、40°f相當于的400ppm 的CaCO3 。
6、冷卻水水質(zhì)要求：不低于《工業(yè)循環(huán)冷卻水處理設計規(guī)范》GB50050-95 7、送風管道必須保溫處理，現(xiàn)場安裝盡可能的縮短管路長度， 有關可能的詳細信息，請參閱操作手冊。
迷你型精密恒溫恒濕機組
在?種專為局部?質(zhì)量空間提供?精度空?處理系統(tǒng)的設備，該系統(tǒng)能夠最?限度地減少對能源的使?。
| 產(chǎn)品型號 | LMW-01BS | LMWX-01BS | LMW-03BT | LMWX-03BT | |
| 額定處理風量 | m3/min | 0.7～1.0 | 2.0～4.0 | ||
| 可設定溫濕度范圍 | ℃/ %RH | 21～26 | 21～26;45%RH～60%RH | 21～26 | 21～26；45%RH～60%RH |
| 溫度控制精度 | ℃ | ±0.1℃（可定制±0.01℃控溫精度設備） | |||
| 濕度控制精度 | %RH | / | ±1.0%RH | / | ±1.0%RH |
| 最大制冷量(50/60Hz） | kW | 0.2/0.25 | 0.37/0.45 | 1.3 | 1.3 |
| 再熱能力(50/60Hz） | kW | 0.1/0.13 | 0.4 | 0.5 | 0.7 |
| 最大加濕能力 | Kg/h | / | 0.8 | / | 2.3 |
| 加濕供水溫度范圍 | ℃ | / | 10～40 | / | 10～40 |
| 加濕補水管接口 | / | / | Rc1/2 | / | Rc1/2 |
| 加濕補水壓力值 | bar | / | 0.3～2 | / | 0.3～2 |
| 水質(zhì)要求 | / | / | *導電率125～1250μs/cm *水硬度不高于40°f *無有機化合物 | / | *導電率125～1250μs/cm *水硬度不高于40°f? *無有機化合物 |
| 最大機外送風靜壓 | Pa | 120/130 | 120/160 | 110/150 | 110/150 |
| 送風口接管直徑 | mm | φ75 | φ100 | φ100 | φ100 |
| 設備使用環(huán)境溫度 | ℃/ %RH | 20～26；40%RH～60%RH ① | |||
| 使用環(huán)境溫度精度范圍 | ℃/ %RH | ±1；±5%RH | |||
| 電源供應 | V/Hz | 1～220v±10%; 50/60Hz±5Hz | 3～380v±15%; 50Hz±5Hz? ④ | ||
| 機組額定輸入功率 | kW | 0.32/0.34 | 1.2/1.2 | 0.75??⑤ | 2.7?⑤ |
| 機組運行最大電流值 | A | 1.7/1.82 | 6.4/6.4 | 1.35 | 4.8 |
| 機組噪音值(50/60Hz） | dB(A) | 54/56 | 58/60 | 65 | 66 |
| 機組最大輸入功率 | kWA | 0.34/0.38 | 1.5/1.5 | 1.4 | 4 |
| 冷媒/充注量 | Kg | R134A/0.13 | R407C/0.3 | R410A/0.4 | R410A/0.48 |
| 機組凈重 | Kg | 32 | 69 | 95 | 135 |
| 機組毛重 | Kg | 40 | 85 | 110 | 150 |
| 機組外形尺寸(L*B*H) | mm | 500*412*346 | 630*390*765 | 590*480*1070 | 680*520*1350 |
| 機組包裝尺寸(L*B*H) | mm | 600*500*400 | 750*500*850 | 700*600*1200 | 780*650*1400 |
1、溫度和濕度控制范圍并不一定代表實際可控制的范圍。實際可控制的溫度和濕度范圍取決于進氣溫度和濕度以及工藝風量。根據(jù)操作環(huán)境設置工藝風量。
2、對于M01/02系列，當進氣溫度和濕度穩(wěn)定時?？刂破魃巷@示的精度值僅適用于出口端的一點；同時是在最大額定風量下運行時。 對于M03系列，在以額定工藝風量（3 m3/min）運行時，開始運行后大約2分鐘內(nèi)，由于壓縮機 油回流，溫度會暫時波動。此外，如果目標濕度較高，并且根據(jù)加濕水供應的時間不同，可能無法維持之前提到的精度。在這種情況下，通過調(diào)整與供水相關的參數(shù)，可以減少波動量。
3、在最大額定工藝風量下運行時，送風機出口側(cè)空氣出口處的恒定靜壓。
4、將產(chǎn)品插入專用插座以防止電壓下降，三相電源電壓相位不平衡應小于±3 %。
5、在指定范圍內(nèi)最大工作電流下運行時。
6、冷卻水水質(zhì)要求：不低于《工業(yè)循環(huán)冷卻水處理設計規(guī)范》GB50050-95；備注 40°f相當于的400ppm 的CaCO3 。 7、高度包括出口端。所示數(shù)值是在指定最大加濕水平運行時的。有關可能的詳細信息，請參閱操作手冊 備注：送風管道必須保溫處理，現(xiàn)場安裝盡可能的縮短管路長度（最大長度不超過3m)
產(chǎn)品推薦
Recommendation
溫度參數(shù)是面板直冷機選型的基礎依據(jù)，需關注溫度控制范圍、調(diào)節(jié)精度及均勻性指標。不同型號設備的溫度覆蓋范圍存在差異，部分機型可實現(xiàn)較寬的溫度調(diào)節(jié)區(qū)間，而專項設備則聚焦特定溫度區(qū)間。針對晶圓加工中的工藝測試需求，相關設備的溫度均勻性控制嚴格，確保測試結(jié)果的一致性。溫度控制精度方面，主流機型有明確的精度標準，部分直冷型設備則有另一套精度標準，需根據(jù)工藝要求選擇適配型號。單一介質(zhì)控溫技術可實現(xiàn)連續(xù)調(diào)節(jié)，無需中途更換導熱介質(zhì)，適用于需要溫度連續(xù)變化的場景；而復疊制冷技術則能實現(xiàn)苛刻低溫，滿足特殊材料測試需求。
流量參數(shù)直接影響面板直冷機的換熱效率與溫度響應速度，需根據(jù)散熱需求準確匹配。設備流量范圍覆蓋多個區(qū)間，流量控制采用變頻器調(diào)節(jié)技術，可根據(jù)系統(tǒng)壓力與溫度自動適配流量輸出。選型時需計算目標設備的熱負荷需求，通常以制冷量為參考依據(jù)。同時需考慮管路阻力損失，長距離管路或復雜回路應選擇流量調(diào)節(jié)范圍更大的機型。部分設備支持一拖多控制模式，一臺主機可連接多臺反應裝置，需確?？偭髁糠峙錆M足各支路需求。
壓力參數(shù)是保障流量穩(wěn)定的關鍵原因之一，與系統(tǒng)密封性及管路設計密切相關。設備泵壓力有明確的標準，特殊場景可定制更高耐壓設備。壓力監(jiān)測通過傳感器實時反饋，顯示在操作界面上，便于及時發(fā)現(xiàn)管路堵塞或泄漏問題。選型時需核算整個循環(huán)系統(tǒng)的沿程阻力與局部阻力，確保泵出口壓力足以克服阻力損失。對于密閉循環(huán)系統(tǒng)，需關注膨脹罐容積參數(shù)，其作用是緩沖系統(tǒng)壓力波動，避免因溫度變化導致的壓力驟升。
參數(shù)匹配需參考溫度定類型、流量定規(guī)格、壓力定適配等因素，形成協(xié)同選型邏輯。不同場景如半導體芯片測試、大型服務器控溫系統(tǒng)等，對溫度范圍、控溫精度、流量和壓力的要求各有不同。載冷劑類型也會影響參數(shù)匹配，不同載冷劑適用于不同溫度場景，需確認設備兼容的載冷劑類型。
安裝環(huán)境對參數(shù)適配同樣重要，面板直冷機型需考慮冷卻水接口尺寸與流量，風冷機型需確保安裝空間滿足散熱需求。通信協(xié)議兼容性也需納入考量，設備需支持主流協(xié)議，便于與工廠控制系統(tǒng)集成。
選型驗證需參考設備測試標準，所有的機型均經(jīng)過嚴格檢測及連續(xù)運行拷機，確保參數(shù)指標真實可靠。可要求提供負載測試報告，驗證在額定工況下的溫度穩(wěn)定性、流量精度與壓力波動情況。售后服務方面，需確認安裝調(diào)試支持、操作培訓及維修響應時效，保障設備長期穩(wěn)定運行。
面板直冷機選型是一項系統(tǒng)工程，需在溫度、流量、壓力三大核心參數(shù)間找到合適平衡點。通過準確核算工藝需求、評估設備參數(shù)、嚴格驗證性能指標，才能選出適配的機型，為半導體制造與測試提供穩(wěn)定可靠的溫控保障，同時避免設備閑置或性能不足帶來的問題。
雙通道系列 Dual Channel Chiller
FLTZ系列雙通道Chillers主要用于半導體制程中對反應腔室溫度的精準控制，公司在系統(tǒng)中應用多種算法（PID、前饋PID、無模型自建樹算法），顯著提升系統(tǒng)的響應速度、控制精度和穩(wěn)定性。
詳細信息ZLTZ直冷控溫機組Chiller
ZLTZ直冷控溫機組Chiller適合應?于微通道反應器、板式換熱器、冷板、熱沉板、管式反應器等換熱?積?、制冷量?、溫差?的控溫需求場所；設備可?動回收導熱介質(zhì)；
詳細信息單通道系列 Single Channel Chiller
FLTZ系列單通道Chillers主要應用與半導體生產(chǎn)過程中及測試環(huán)節(jié)的溫度精準控制，公司在系統(tǒng)中應用多種算法（PID、前饋PID、無模型自建樹算法），實現(xiàn)系統(tǒng)快速響應、較高的控制精度。
詳細信息三通道系列 Triple Channel Chiller
FLTZ系列三通道Chillers主要應用與半導體生產(chǎn)過程中及測試環(huán)節(jié)的溫度精準控制，系統(tǒng)支持三個通道獨立控溫，每個通道有獨立的溫度范圍、冷卻加熱能力、導熱介質(zhì)流量等。
詳細信息ZLJ/SLJ系列超低溫直冷機
適用范圍 將制冷系統(tǒng)中的制冷劑直接輸出蒸發(fā)進??標控制元件（換熱器）換熱，從?使?標控制對象降溫。具備換熱能力相對于流體（?體）輸送?換熱器換熱能?更??般在5倍以上，這樣特別適?于換熱器換熱?積?，但是換熱量?的運?場所。 也可以如?體捕集運?，將制冷劑直接通?捕集器蒸發(fā)，通過捕集器表?冷凝效應，迅速捕集空間中的?體。 …
詳細信息真空控溫卡盤Chuck
冠亞恒溫LNEYA真空控溫卡盤Chuck提供8寸卡盤、12寸卡盤以及非標定制方形冷板，支持-70~+200℃寬溫度范圍，也可以定制各種其他溫度范圍，內(nèi)置多個溫度傳感器，多區(qū)控溫，精確FID調(diào)節(jié)控溫；支持直冷、液冷、?冷；
詳細信息LQ系列氣體冷卻裝置
適用范圍 應?于將?體（?腐蝕）降溫使?：如?燥壓縮空?、氮?、氬?等常溫?體通?到LQ系列設備內(nèi)部，出來的?體即可達到?標低溫溫度，供給需求測試的元件或換熱器中。 產(chǎn)品特點 Product Features 產(chǎn)品參數(shù) Product Parameter 所有設備額定測試條件：?球溫度：20℃；濕球溫度：16℃。進?溫度：20℃；出…
詳細信息AI系列循環(huán)風系統(tǒng)
適用范圍 運?于半導體設備?低溫測試。電?設備?溫低溫恒溫測試冷熱源；獨?的制冷循環(huán)?機組；可連續(xù)?時間?作，?動除霜，除霜過程不影響庫溫； 模塊化設計，備?機替換容易（只要?臺備?機組即可）；解決頻繁開關?，蒸發(fā)系統(tǒng)結(jié)霜問題；蒸發(fā)系統(tǒng)除霜過程不影響。構筑?套?低溫恒溫室變的簡單（根據(jù)提供的圖紙，像搭積??般拼接好箱體，連接好電和?，設…
詳細信息
雙通道直冷機的核心原理在于將制冷系統(tǒng)中的制冷劑直接輸出至目標控制元件的換熱器進行換熱，從而實現(xiàn)對控制對象的快速降溫。相較于傳統(tǒng)的流體或氣體換熱方式，其換熱的能力通常可有所提升，尤其適用于換熱面積小但換熱量大的場景。該設備采用雙系統(tǒng)設計，兩個單獨的制冷回路可分別針對不同測試工位進行溫度調(diào)控，每個通道均配備單獨的壓縮機、膨脹閥及溫度傳感器，確保溫控過程的單獨性與準確性。
在并行溫控優(yōu)勢方面，首先體現(xiàn)在溫度控制的同步性上。半導體封裝測試中，常需對同一批次的多個芯片或模塊進行相同或不同溫度條件的測試。雙通道直冷機可通過兩個通道同時輸出不同的目標溫度，如一個通道維持零下低溫環(huán)境，另一個通道保持常溫環(huán)境，且每個通道的控溫精度高，滿足不同測試場景的嚴苛要求。
其次，該設備具備快速響應能力。其采用的電子膨脹閥可根據(jù)實時溫度反饋迅速調(diào)節(jié)制冷劑流量，配合PLC控制器及模糊PID算法，能夠?qū)崿F(xiàn)溫度的快速升降。在從常溫切換至低溫環(huán)境時，設備可在短時間內(nèi)完成溫度過渡，且波動幅度控制在允許范圍內(nèi)，縮短測試周期。
再者，雙通道設計具有方便的操作方式。操作員可通過彩色觸摸屏分別設定兩個通道的溫度、壓力及運行時間等參數(shù)，并實時監(jiān)控各通道的運行狀態(tài)。同時，設備支持以太網(wǎng)接口的TCP/IP協(xié)議，可接入工廠的中控系統(tǒng)實現(xiàn)遠程控制與數(shù)據(jù)記錄，便于批量測試的集中管理。
在應用實踐中，雙通道直冷機已廣泛用于半導體封裝后的高低溫沖擊測試、熱循環(huán)測試等環(huán)節(jié)。在芯片封裝測試廠中，該設備同時對兩個批次的芯片進行寬泛的溫度循環(huán)測試，每個通道單獨記錄溫度變化曲線，測試完成后可通過U盤導出Excel格式的數(shù)據(jù)，為產(chǎn)品可靠性分析提供準確依據(jù)，滿足了部分特殊芯片的苛刻環(huán)境測試需求。
設備的安全性能同樣值得關注。其配備了相序斷相保護、壓力保護及過載繼電器等多重安全裝置，當某一通道出現(xiàn)異常時，系統(tǒng)會自動切斷該通道的運行并發(fā)出警告信號，不影響另一通道的正常工作，確保測試過程的連續(xù)性與安全性。
雙通道直冷機通過并行溫控設計、換熱的能力及靈活的操作方式，在半導體封裝測試中展現(xiàn)出應用價值。其不僅提升了測試效率與數(shù)據(jù)準確性，也為半導體行業(yè)的高質(zhì)量發(fā)展提供了可靠的溫控解決方案。
雙通道系列 Dual Channel Chiller
FLTZ系列雙通道Chillers主要用于半導體制程中對反應腔室溫度的精準控制，公司在系統(tǒng)中應用多種算法（PID、前饋PID、無模型自建樹算法），顯著提升系統(tǒng)的響應速度、控制精度和穩(wěn)定性。
詳細信息單通道系列 Single Channel Chiller
FLTZ系列單通道Chillers主要應用與半導體生產(chǎn)過程中及測試環(huán)節(jié)的溫度精準控制，公司在系統(tǒng)中應用多種算法（PID、前饋PID、無模型自建樹算法），實現(xiàn)系統(tǒng)快速響應、較高的控制精度。
詳細信息三通道系列 Triple Channel Chiller
FLTZ系列三通道Chillers主要應用與半導體生產(chǎn)過程中及測試環(huán)節(jié)的溫度精準控制，系統(tǒng)支持三個通道獨立控溫，每個通道有獨立的溫度范圍、冷卻加熱能力、導熱介質(zhì)流量等。
詳細信息LQ系列氣體冷卻裝置
適用范圍 應?于將?體（?腐蝕）降溫使?：如?燥壓縮空?、氮?、氬?等常溫?體通?到LQ系列設備內(nèi)部，出來的?體即可達到?標低溫溫度，供給需求測試的元件或換熱器中。 產(chǎn)品特點 Product Features 產(chǎn)品參數(shù) Product Parameter 所有設備額定測試條件：?球溫度：20℃；濕球溫度：16℃。進?溫度：20℃；出…
詳細信息AI系列循環(huán)風系統(tǒng)
適用范圍 運?于半導體設備?低溫測試。電?設備?溫低溫恒溫測試冷熱源；獨?的制冷循環(huán)?機組；可連續(xù)?時間?作，?動除霜，除霜過程不影響庫溫； 模塊化設計，備?機替換容易（只要?臺備?機組即可）；解決頻繁開關?，蒸發(fā)系統(tǒng)結(jié)霜問題；蒸發(fā)系統(tǒng)除霜過程不影響。構筑?套?低溫恒溫室變的簡單（根據(jù)提供的圖紙，像搭積??般拼接好箱體，連接好電和?，設…
詳細信息AET系列氣體快速溫變測試機
適用范圍 壓縮空?進??體快速溫變測試機，內(nèi)置有?燥器，預先把?體?燥到露點溫度-70度以下，進?制冷加熱控溫輸出穩(wěn)定流量壓?恒溫的?體，對?標對象進?控溫（如各類控溫卡盤、腔體環(huán)境、熱承板、料梭、腔體、電?元件等），可根據(jù)遠程卡盤上的溫度傳感器進??藝過程控溫，?動調(diào)節(jié)輸出?體的溫度。 產(chǎn)品特點 Product Features …
詳細信息Dryer氣體干燥器
適用范圍 應?于傳感器、半導體制造、薄膜和包裝材料執(zhí)照、粉狀物料運輸、噴涂系統(tǒng)、?品?業(yè)、制藥?業(yè)等需要實現(xiàn)-80℃低露點?燥和清潔的分布式?源。 產(chǎn)品特點 Product Features 產(chǎn)品參數(shù) Product Parameter 行業(yè)應用 APPLICATION 半導體封測工藝過程控溫解決方案 半導體封測工藝是…
詳細信息面板系列Panel Chiller
面板系列Chiller應?于刻蝕、蒸鍍、鍍膜?藝等，支持?流量?負載，確保極端?況下持續(xù)穩(wěn)定運?；支持冷卻?動態(tài)調(diào)節(jié)系統(tǒng)，可根據(jù)環(huán)境溫度與設備熱負荷，實時調(diào)節(jié)?溫。
詳細信息
一、三通道直冷機的工作原理與系統(tǒng)架構
三通道直冷機的核心在于其多回路制冷系統(tǒng)，每個通道可單獨控制溫度，適用于需要同時處理多個不同溫區(qū)的場景。其制冷循環(huán)基于蒸氣壓縮原理，但相較于單通道直冷機，三通道系統(tǒng)采用多壓縮機并聯(lián)或復疊式制冷技術，確保各通道的制冷能力可單獨調(diào)節(jié)。
1、制冷循環(huán)分析
該制冷循環(huán)系統(tǒng)采用多通道控溫設計，各通道配備高性能變頻壓縮機，將氣態(tài)制冷劑壓縮至高溫高壓狀態(tài)；隨后制冷劑通過風冷或水冷冷凝器進行放熱液化，部分機型采用板式換熱器以提升熱交換效率；系統(tǒng)通過電子膨脹閥準確調(diào)節(jié)制冷劑流量，確保蒸發(fā)溫度穩(wěn)定；制冷劑在目標設備內(nèi)直接蒸發(fā)吸熱，省去傳統(tǒng)載冷劑的中間傳熱環(huán)節(jié)，降低傳熱損失。
2、三通道控制機制
該三通道單獨控制系統(tǒng)為每個通道配置了高精度溫度傳感器和壓力變送器，實時準確監(jiān)測蒸發(fā)器運行狀態(tài)；系統(tǒng)采用PLC控制器，通過智能PID算法動態(tài)調(diào)節(jié)壓縮機轉(zhuǎn)速和電子膨脹閥開度，確保溫度控制精度穩(wěn)定。該設計使得三通道直冷機能夠同時處理不同溫區(qū)的制冷需求，在半導體測試中，可分別控制芯片、電源模塊和光學器件的冷卻溫度，避免傳統(tǒng)單通道系統(tǒng)因溫度失控導致的控溫偏差。
二、行業(yè)應用分析
1、半導體制造與測試
在半導體制造領域，三通道直冷機憑借其多通道控溫特性，廣泛應用于晶圓刻蝕、芯片測試和封裝等關鍵工藝環(huán)節(jié)：針對晶圓刻蝕工藝中不同反應腔對特定低溫的差異化需求，三通道系統(tǒng)可實現(xiàn)各腔體的準確控溫；在進行高功率芯片可靠性測試時，系統(tǒng)可同時對供電模塊、信號處理單元和光學傳感器實施分區(qū)溫度管理，避免熱干擾問題；在芯片封裝過程的塑封和鍵合階段，通過為不同材料提供定制化溫控方案，提升了產(chǎn)品良率和工藝穩(wěn)定性，充分滿足半導體制造對溫度控制的高精度要求。
2、化工與制藥行業(yè)
在化工與制藥行業(yè)，三通道直冷機為工藝過程提供準確溫度管理解決方案：針對化學反應釜的特殊工藝需求，系統(tǒng)可實現(xiàn)在低溫條件下安全引發(fā)聚合反應，并快速切換至高溫維持合適的反應速率；在醫(yī)藥凍干工藝中，通過單獨控制預凍、升華和解析三個關鍵階段的溫度參數(shù)，提升了效率和質(zhì)量，這種溫控能力使三通道直冷機成為化工制藥行業(yè)工藝優(yōu)化和設備升級的選擇。
3、新能源與汽車測試
在新能源與汽車測試領域，三通道直冷機展現(xiàn)出多工況模擬能力，解決了傳統(tǒng)單通道系統(tǒng)無法兼顧多溫區(qū)的技術難題，提升燃料電池系統(tǒng)的整體測試效率和能源利用率，為新能源研發(fā)驗證提供測試支持。
三通道直冷機憑借多回路控溫能力，在半導體、化工、醫(yī)藥、大型服務器及新能源等領域展現(xiàn)出較高的適用性。其直接蒸發(fā)換熱的原理減少了中間傳熱損失，結(jié)合變頻調(diào)節(jié)和智能控制算法，能夠滿足復雜工業(yè)場景下的準確溫控需求。
雙通道系列 Dual Channel Chiller
FLTZ系列雙通道Chillers主要用于半導體制程中對反應腔室溫度的精準控制，公司在系統(tǒng)中應用多種算法（PID、前饋PID、無模型自建樹算法），顯著提升系統(tǒng)的響應速度、控制精度和穩(wěn)定性。
詳細信息ZLTZ直冷控溫機組Chiller
ZLTZ直冷控溫機組Chiller適合應?于微通道反應器、板式換熱器、冷板、熱沉板、管式反應器等換熱?積?、制冷量?、溫差?的控溫需求場所；設備可?動回收導熱介質(zhì)；
詳細信息LTZ變頻系列低溫冷凍機組
適用范圍 LTZ系列低溫冷凍機采用變頻技術，實現(xiàn)產(chǎn)品?效節(jié)能，控溫范圍：-100℃～30℃，控溫精度：±0.3℃。變頻壓縮機組通過內(nèi)置變頻裝置隨時根據(jù)??冷熱負荷需求改變直流壓縮機的運?轉(zhuǎn)速，從?避免壓縮機與電加熱滿負荷對抗，保持機組穩(wěn)定的?作狀態(tài)，達到節(jié)能效果。 產(chǎn)品特點 Product Features 產(chǎn)品參數(shù) Produ…
詳細信息HLTZ系列氫氣高效換熱制冷機組
適用范圍 氫氣經(jīng)過內(nèi)高壓換熱器，制冷系統(tǒng)通過制冷劑直接與氫氣換熱，實現(xiàn)高效換熱控溫；設備本體采用正壓防爆系統(tǒng)，正壓系統(tǒng)內(nèi)置有恒溫器，確保系統(tǒng)環(huán)境維持在常溫。相對于傳統(tǒng)防凍液或其他流體與氫氣換熱，本設備采用介質(zhì)為制冷系統(tǒng)制冷劑（相變熱），能效更高；內(nèi)置有可再生干燥機，確保正壓系統(tǒng)內(nèi)部干燥，沒有冷凝水；可與耐高壓微通道換熱器或殼管換熱器（9…
詳細信息2度純水DI制冷控溫機組
適用范圍 特別適合生產(chǎn)過程中2℃~5℃DI水需求的應用場景。 產(chǎn)品特點 Product Features 產(chǎn)品參數(shù) Product Parameter 行業(yè)應用 APPLICATION 新材料|特氣生產(chǎn)控溫解決方案 新材料，作為新近發(fā)展或正在發(fā)展的具有優(yōu)異性能的結(jié)構材料和有特殊性質(zhì)的功能材料，其研發(fā)和生產(chǎn)過程對溫度控制有著…
詳細信息單通道系列 Single Channel Chiller
FLTZ系列單通道Chillers主要應用與半導體生產(chǎn)過程中及測試環(huán)節(jié)的溫度精準控制，公司在系統(tǒng)中應用多種算法（PID、前饋PID、無模型自建樹算法），實現(xiàn)系統(tǒng)快速響應、較高的控制精度。
詳細信息三通道系列 Triple Channel Chiller
FLTZ系列三通道Chillers主要應用與半導體生產(chǎn)過程中及測試環(huán)節(jié)的溫度精準控制，系統(tǒng)支持三個通道獨立控溫，每個通道有獨立的溫度范圍、冷卻加熱能力、導熱介質(zhì)流量等。
詳細信息ZLJ/SLJ系列超低溫直冷機
適用范圍 將制冷系統(tǒng)中的制冷劑直接輸出蒸發(fā)進??標控制元件（換熱器）換熱，從?使?標控制對象降溫。具備換熱能力相對于流體（?體）輸送?換熱器換熱能?更??般在5倍以上，這樣特別適?于換熱器換熱?積?，但是換熱量?的運?場所。 也可以如?體捕集運?，將制冷劑直接通?捕集器蒸發(fā)，通過捕集器表?冷凝效應，迅速捕集空間中的?體。 …
詳細信息真空控溫卡盤Chuck
冠亞恒溫LNEYA真空控溫卡盤Chuck提供8寸卡盤、12寸卡盤以及非標定制方形冷板，支持-70~+200℃寬溫度范圍，也可以定制各種其他溫度范圍，內(nèi)置多個溫度傳感器，多區(qū)控溫，精確FID調(diào)節(jié)控溫；支持直冷、液冷、?冷；
詳細信息面板系列Panel Chiller
面板系列Chiller應?于刻蝕、蒸鍍、鍍膜?藝等，支持?流量?負載，確保極端?況下持續(xù)穩(wěn)定運?；支持冷卻?動態(tài)調(diào)節(jié)系統(tǒng)，可根據(jù)環(huán)境溫度與設備熱負荷，實時調(diào)節(jié)?溫。
詳細信息帕爾貼Chiller
冠亞恒溫LNEYA 帕爾貼熱電制冷器CHILLER溫度范圍從-20到90℃，專為半導體行業(yè)度身定制； 基于經(jīng)過實踐驗證的帕爾貼熱傳導原理，帕爾貼溫度控制系統(tǒng)能夠為等離子刻蝕應用提供可重復性的溫度控制；
詳細信息
一、熱力學原理與系統(tǒng)構成
刻蝕直冷機etch chiller的工作基礎建立在蒸氣壓縮制冷循環(huán)之上，但其技術實現(xiàn)路徑與傳統(tǒng)間接冷卻方式存在本質(zhì)差異。制冷系統(tǒng)通過外界功實現(xiàn)熱量從低溫物體向高溫物體的轉(zhuǎn)移。直冷機的核心在于省卻了傳統(tǒng)冷卻系統(tǒng)中載冷劑這一中間傳熱介質(zhì)，采用制冷劑直接蒸發(fā)吸熱的原理，在目標控溫元件內(nèi)部完成相變換熱過程。
從系統(tǒng)構成來看，刻蝕直冷機etch chiller包含四大功能模塊：壓縮單元采用多級復疊技術，通常由谷輪渦旋壓縮機組成，負責將氣態(tài)制冷劑加壓至高溫高壓狀態(tài)；冷凝單元通過風冷或水冷方式使制冷劑液化；膨脹機構采用電子膨脹閥實現(xiàn)制冷劑節(jié)流降壓；蒸發(fā)單元則直接集成在刻蝕設備的冷卻板內(nèi)部。這種結(jié)構設計特別適合于半導體刻蝕設備中換熱面積有限但熱負荷較高的應用場景。
二、準確控溫機制分析
半導體刻蝕工藝通常要求溫度控制精度達到規(guī)定范圍以內(nèi)，刻蝕直冷機etch chiller通過三項關鍵技術實現(xiàn)這一目標：在傳感器配置方面，系統(tǒng)在蒸發(fā)器進出口、壓縮機吸排氣端等多點布置PT100溫度傳感器和壓力變送器，實時監(jiān)測制冷劑狀態(tài)參數(shù)；熱力學設計方面，采用混合制冷劑，優(yōu)化蒸發(fā)溫度與刻蝕工藝需求的匹配度。
刻蝕直冷機etch chiller通過”高溫高壓制冷劑旁通回路”實現(xiàn)快速升溫功能，解決了傳統(tǒng)系統(tǒng)在變溫工況下響應滯后的問題。這種設計使系統(tǒng)在高溫運行狀態(tài)下仍能迅速切換至低溫模式，升降溫速率較間接冷卻系統(tǒng)有所提升，滿足了刻蝕工藝中對快速溫度切換的需求。
三、半導體刻蝕中的技術適配性
在干法刻蝕應用中，反應腔內(nèi)的等離子體產(chǎn)生大量瞬時熱負荷，傳統(tǒng)水冷系統(tǒng)因熱容限制常出現(xiàn)溫度超調(diào)。
濕法刻蝕對溫度要求更嚴謹，微小的偏差可能導致刻蝕速率變化超過規(guī)定范圍內(nèi)?？涛g直冷機etch chiller的蒸發(fā)溫度閉環(huán)控制配合變頻泵調(diào)節(jié)冷媒流量，確保了槽液溫度的均勻性。特別在深硅刻蝕等長時間工藝中，系統(tǒng)內(nèi)置的膨脹罐維持了制冷劑流量穩(wěn)定，避免了因熱負荷波動引起的刻蝕差異。
四、系統(tǒng)可靠性與維護特性
半導體制造對設備穩(wěn)定性的要求較為嚴格，刻蝕直冷機etch chiller從三個方面保障持續(xù)運行：在冗余設計上，關鍵部件如壓縮機、水泵采用并聯(lián)配置，支持在線切換；安全防護方面設置高壓保護、相序保護和漏液檢測等多重機制。
實際運行數(shù)據(jù)顯示，在連續(xù)工作條件下，刻蝕直冷機etch chiller配備的7英寸觸摸屏可記錄溫度曲線和警告信息，便于集成到半導體工廠的監(jiān)控系統(tǒng)。這種設計既滿足了晶圓廠對設備可追溯性的要求，也為預防性維護提供了數(shù)據(jù)支持。
刻蝕直冷機etch chiller憑借其直接換熱的原理優(yōu)勢，在半導體制造領域應用廣泛。從熱力學角度看，該系統(tǒng)規(guī)避了傳統(tǒng)冷卻方式中的傳熱中間環(huán)節(jié)，實現(xiàn)了更快的熱響應速度和更高的溫度穩(wěn)定性，以滿足半導體工業(yè)不斷演進的生產(chǎn)需求。
雙通道系列 Dual Channel Chiller
FLTZ系列雙通道Chillers主要用于半導體制程中對反應腔室溫度的精準控制，公司在系統(tǒng)中應用多種算法（PID、前饋PID、無模型自建樹算法），顯著提升系統(tǒng)的響應速度、控制精度和穩(wěn)定性。
詳細信息單通道系列 Single Channel Chiller
FLTZ系列單通道Chillers主要應用與半導體生產(chǎn)過程中及測試環(huán)節(jié)的溫度精準控制，公司在系統(tǒng)中應用多種算法（PID、前饋PID、無模型自建樹算法），實現(xiàn)系統(tǒng)快速響應、較高的控制精度。
詳細信息三通道系列 Triple Channel Chiller
FLTZ系列三通道Chillers主要應用與半導體生產(chǎn)過程中及測試環(huán)節(jié)的溫度精準控制，系統(tǒng)支持三個通道獨立控溫，每個通道有獨立的溫度范圍、冷卻加熱能力、導熱介質(zhì)流量等。
詳細信息LQ系列氣體冷卻裝置
適用范圍 應?于將?體（?腐蝕）降溫使?：如?燥壓縮空?、氮?、氬?等常溫?體通?到LQ系列設備內(nèi)部，出來的?體即可達到?標低溫溫度，供給需求測試的元件或換熱器中。 產(chǎn)品特點 Product Features 產(chǎn)品參數(shù) Product Parameter 所有設備額定測試條件：?球溫度：20℃；濕球溫度：16℃。進?溫度：20℃；出…
詳細信息AI系列循環(huán)風系統(tǒng)
適用范圍 運?于半導體設備?低溫測試。電?設備?溫低溫恒溫測試冷熱源；獨?的制冷循環(huán)?機組；可連續(xù)?時間?作，?動除霜，除霜過程不影響庫溫； 模塊化設計，備?機替換容易（只要?臺備?機組即可）；解決頻繁開關?，蒸發(fā)系統(tǒng)結(jié)霜問題；蒸發(fā)系統(tǒng)除霜過程不影響。構筑?套?低溫恒溫室變的簡單（根據(jù)提供的圖紙，像搭積??般拼接好箱體，連接好電和?，設…
詳細信息AET系列氣體快速溫變測試機
適用范圍 壓縮空?進??體快速溫變測試機，內(nèi)置有?燥器，預先把?體?燥到露點溫度-70度以下，進?制冷加熱控溫輸出穩(wěn)定流量壓?恒溫的?體，對?標對象進?控溫（如各類控溫卡盤、腔體環(huán)境、熱承板、料梭、腔體、電?元件等），可根據(jù)遠程卡盤上的溫度傳感器進??藝過程控溫，?動調(diào)節(jié)輸出?體的溫度。 產(chǎn)品特點 Product Features …
詳細信息Dryer氣體干燥器
適用范圍 應?于傳感器、半導體制造、薄膜和包裝材料執(zhí)照、粉狀物料運輸、噴涂系統(tǒng)、?品?業(yè)、制藥?業(yè)等需要實現(xiàn)-80℃低露點?燥和清潔的分布式?源。 產(chǎn)品特點 Product Features 產(chǎn)品參數(shù) Product Parameter 行業(yè)應用 APPLICATION 半導體封測工藝過程控溫解決方案 半導體封測工藝是…
詳細信息面板系列Panel Chiller
面板系列Chiller應?于刻蝕、蒸鍍、鍍膜?藝等，支持?流量?負載，確保極端?況下持續(xù)穩(wěn)定運?；支持冷卻?動態(tài)調(diào)節(jié)系統(tǒng)，可根據(jù)環(huán)境溫度與設備熱負荷，實時調(diào)節(jié)?溫。
詳細信息一、三通道直冷機triple channel chiller的核心技術原理
1、壓縮制冷循環(huán)的基本原理
三通道直冷機triple channel chiller通常采用壓縮制冷循環(huán)，其基本原理是利用制冷劑的相變過程來吸收和釋放熱量。壓縮機將低壓氣態(tài)制冷劑壓縮成高壓氣態(tài)，使其溫度升高；然后高壓氣態(tài)制冷劑進入冷凝器，在其中與冷卻介質(zhì)進行熱交換，釋放熱量并冷凝成高壓液態(tài)；高壓液態(tài)制冷劑經(jīng)過膨脹閥節(jié)流降壓，變成低壓液態(tài)和氣態(tài)的混合物；低壓混合物進入蒸發(fā)器，在其中吸收被冷卻物體的熱量而汽化，從而實現(xiàn)制冷效果。這一循環(huán)過程不斷重復，以維持低溫環(huán)境。
2、復疊式制冷系統(tǒng)的技術特點
對于需要更低溫度的應用場景，單級壓縮制冷循環(huán)往往難以滿足要求，此時常采用復疊式制冷系統(tǒng)。復疊式制冷系統(tǒng)由兩個或多個單級制冷循環(huán)組成，通過中間換熱器將高溫級和低溫級聯(lián)系起來，以滿足特殊工業(yè)過程的低溫需求。
二、三通道直冷機triple channel chiller關鍵部件的技術解析
1、壓縮機的選型與性能
壓縮機作為制冷機的核心部件之一，其性能直接影響整個系統(tǒng)的制冷效率和穩(wěn)定性。在三通道直冷機中，常用的壓縮機類型包括半封閉活塞壓縮機、螺桿壓縮機和渦旋壓縮機。半封閉活塞壓縮機具有結(jié)構緊湊、可靠性高的特點，適用于中小型制冷系統(tǒng)；螺桿壓縮機則效率高、排氣量大的優(yōu)勢，適合大型制冷系統(tǒng)；渦旋壓縮機運行平穩(wěn)、響動低，在一些對要求較高的場合得到應用。
2、換熱器的設計與優(yōu)化
換熱器是制冷機中實現(xiàn)熱量交換的關鍵部件之一，常見的換熱器類型有板式換熱器、殼管式換熱器和套管式換熱器。板式換熱器具有傳熱效率高、結(jié)構緊湊的優(yōu)點，在低溫制冷機中得到廣泛應用。殼管式換熱器則具有結(jié)構堅固、適應性強的特點，適用于一些工況較為復雜的場合。
三、三通道直冷機triple channel chiller的選型指南
1、溫度范圍與制冷量的確定
在選型時，首先需要明確工藝所需的高低溫度和溫度控制精度。不同的工業(yè)應用對溫度的要求差異較大，同時，還需要根據(jù)工藝過程的熱負荷計算所需的制冷量。制冷量的計算需要考慮被冷卻物體的發(fā)熱量、環(huán)境溫度、保溫條件等因素。
2、制冷劑的選擇
制冷劑的選擇是低溫制冷機選型的環(huán)節(jié)之一。選擇制冷劑時需要考慮其沸點、凝固點、臨界溫度、制冷效率、安全性以及對環(huán)境的影響等因素。
3、系統(tǒng)結(jié)構與安全保護
根據(jù)安裝場地的空間大小和工藝要求，選擇合適的系統(tǒng)結(jié)構形式，如整體式或分體式。整體式制冷機結(jié)構緊湊，安裝方便。同時，制冷機應具備的安全保護裝置，如高壓保護、低壓保護、過載保護、斷相保護、超溫保護等，以確保設備的安全運行。
三通道直冷機triple channel chiller的選型只有通過科學合理的選型，才能選擇到適合工藝要求的低溫制冷機，為工業(yè)生產(chǎn)和科學研究提供可靠的低溫環(huán)境保障。
雙通道系列 Dual Channel Chiller
FLTZ系列雙通道Chillers主要用于半導體制程中對反應腔室溫度的精準控制，公司在系統(tǒng)中應用多種算法（PID、前饋PID、無模型自建樹算法），顯著提升系統(tǒng)的響應速度、控制精度和穩(wěn)定性。
詳細信息LTZ變頻系列低溫冷凍機組
適用范圍 LTZ系列低溫冷凍機采用變頻技術，實現(xiàn)產(chǎn)品?效節(jié)能，控溫范圍：-100℃～30℃，控溫精度：±0.3℃。變頻壓縮機組通過內(nèi)置變頻裝置隨時根據(jù)??冷熱負荷需求改變直流壓縮機的運?轉(zhuǎn)速，從?避免壓縮機與電加熱滿負荷對抗，保持機組穩(wěn)定的?作狀態(tài)，達到節(jié)能效果。 產(chǎn)品特點 Product Features 產(chǎn)品參數(shù) Produ…
詳細信息HLTZ系列氫氣高效換熱制冷機組
適用范圍 氫氣經(jīng)過內(nèi)高壓換熱器，制冷系統(tǒng)通過制冷劑直接與氫氣換熱，實現(xiàn)高效換熱控溫；設備本體采用正壓防爆系統(tǒng)，正壓系統(tǒng)內(nèi)置有恒溫器，確保系統(tǒng)環(huán)境維持在常溫。相對于傳統(tǒng)防凍液或其他流體與氫氣換熱，本設備采用介質(zhì)為制冷系統(tǒng)制冷劑（相變熱），能效更高；內(nèi)置有可再生干燥機，確保正壓系統(tǒng)內(nèi)部干燥，沒有冷凝水；可與耐高壓微通道換熱器或殼管換熱器（9…
詳細信息2度純水DI制冷控溫機組
適用范圍 特別適合生產(chǎn)過程中2℃~5℃DI水需求的應用場景。 產(chǎn)品特點 Product Features 產(chǎn)品參數(shù) Product Parameter 行業(yè)應用 APPLICATION 新材料|特氣生產(chǎn)控溫解決方案 新材料，作為新近發(fā)展或正在發(fā)展的具有優(yōu)異性能的結(jié)構材料和有特殊性質(zhì)的功能材料，其研發(fā)和生產(chǎn)過程對溫度控制有著…
詳細信息單通道系列 Single Channel Chiller
FLTZ系列單通道Chillers主要應用與半導體生產(chǎn)過程中及測試環(huán)節(jié)的溫度精準控制，公司在系統(tǒng)中應用多種算法（PID、前饋PID、無模型自建樹算法），實現(xiàn)系統(tǒng)快速響應、較高的控制精度。
詳細信息三通道系列 Triple Channel Chiller
FLTZ系列三通道Chillers主要應用與半導體生產(chǎn)過程中及測試環(huán)節(jié)的溫度精準控制，系統(tǒng)支持三個通道獨立控溫，每個通道有獨立的溫度范圍、冷卻加熱能力、導熱介質(zhì)流量等。
詳細信息面板系列Panel Chiller
面板系列Chiller應?于刻蝕、蒸鍍、鍍膜?藝等，支持?流量?負載，確保極端?況下持續(xù)穩(wěn)定運?；支持冷卻?動態(tài)調(diào)節(jié)系統(tǒng)，可根據(jù)環(huán)境溫度與設備熱負荷，實時調(diào)節(jié)?溫。
詳細信息帕爾貼Chiller
冠亞恒溫LNEYA 帕爾貼熱電制冷器CHILLER溫度范圍從-20到90℃，專為半導體行業(yè)度身定制； 基于經(jīng)過實踐驗證的帕爾貼熱傳導原理，帕爾貼溫度控制系統(tǒng)能夠為等離子刻蝕應用提供可重復性的溫度控制；
詳細信息
一、半導體行業(yè)行業(yè)挑戰(zhàn)
一方面，控溫精度不足，在低溫工況下易出現(xiàn)溫度回升現(xiàn)象，可能導致光刻膠形變或研磨液性能波動，進而影響工藝一致性；
另一方面，效率低下，能耗較高，且由于控溫精度不足，可能導致原料浪費與生產(chǎn)成本增加。這些問題已然成為制約半導體材料有效生產(chǎn)的關鍵因素。
冠亞恒溫聚焦半導體行業(yè)的控溫需求，憑借其高精度的溫控解決方案以及創(chuàng)新技術優(yōu)勢，幫助企業(yè)達成更有效、更穩(wěn)定的生產(chǎn)目標。
二、半導體行業(yè)控溫解決方案
半導體溫控設備Chiller適用于集成電路、半導體顯示等行業(yè)，溫控設備可在工藝制程中準確控制反應腔室溫度，是一種用于半導體制造過程中對設備或工藝進行冷卻的裝置，其工作原理是利用制冷循環(huán)和熱交換原理，通過控制循環(huán)液的溫度、流量和壓力，帶走半導體工藝設備產(chǎn)生的熱量，從而實現(xiàn)準確的溫度控制，確保半導體制造過程的穩(wěn)定性和產(chǎn)品質(zhì)量。
三、半導體溫控Chiller核心產(chǎn)品
FLTZ變頻單通道Chiller
?介紹應用：應?于光刻、刻蝕、薄膜沉積、探針臺等
?溫度范圍：-100℃~+90℃，控溫精度±0.05℃
?技術亮點：變頻泵可調(diào)整循環(huán)液壓?、流量；智能變頻節(jié)能控制，降低使用能耗；?持?標定制，?持PC遠程控制
FLTZ系列雙通道Chiller
?介紹應用：應?于光刻、刻蝕、薄膜沉積、探針臺等
?控溫范圍：-45℃~+90℃，控溫精度：±0.1℃
?技術亮點：系統(tǒng)支持雙通道獨立控制溫度、流量壓力；采用變頻控溫技術，可根據(jù)客戶需求定制產(chǎn)品
FLTZ變頻三通道Chiller
?介紹應用：應?于光刻、刻蝕、薄膜沉積、探針臺等
?控溫范圍：-20℃～+100℃，控溫精度：±0.1℃
?技術亮點：三通道整合，支持每個通道獨立控溫范圍、導熱介質(zhì)流量；深化性能開發(fā)，匹配刻蝕工藝需求
面板Chiller
?介紹應用：應?于刻蝕、蒸鍍、鍍膜?藝等
?控溫范圍：+15~+30℃，控溫精度±0.05℃
?技術亮點：高揚程設計?持?流量?負載，確保嚴苛?況下持續(xù)穩(wěn)定運?；智能變頻節(jié)能控制，減少?效能耗；符合三通道?藝設計要求，確保信號/流體的獨?傳輸與準確控制
ETCU換熱控溫單元
?介紹應用：應用于PVD、CVD、PECVD、ALD?藝等
?冷卻?溫度范圍：+5℃~+90℃，控溫精度±0.05℃
?技術亮點：系統(tǒng)?壓縮機，通過換熱降溫；?持?標定制，?持PC遠程控制
四、為什么選擇冠亞恒溫？
1、深耕半導體領域：服務半導體后道生產(chǎn)流程工藝中，覆蓋半導體FAB工藝過程控溫、半導體封測工藝過程控溫。
2、定制化服務能力：依托模塊化平臺，提供標準化與個性化結(jié)合的解決方案。
五、冠亞恒溫半導體溫控Chiller溫控系統(tǒng)技術優(yōu)勢
1、變頻技術與節(jié)能：采用變頻技術，結(jié)合精心設計的系統(tǒng)結(jié)構和自主開發(fā)的控制算法，能夠準確調(diào)節(jié)壓縮機的輸出頻率。在滿足制程需求的前提下，降低能耗，為企業(yè)節(jié)省運營成本。
2、全密閉式系統(tǒng)：采用全密閉設計，有效杜絕油霧和異味產(chǎn)生，延長導熱液體的使用壽命。
3、快速加熱與制冷：參與循環(huán)的導熱液體量少，使得加熱和制冷速度大幅提升。響應速度快，能夠及時適應工藝過程中的溫度調(diào)整需求。
4、模塊化設計：系統(tǒng)結(jié)構緊湊，占地面積小，安裝和移動都十分便捷。這種設計使得設備能夠靈活適應不同的生產(chǎn)場地和工藝布局，為企業(yè)節(jié)省空間和安裝成本。
5、智能監(jiān)控與診斷：可同時監(jiān)控、設定和控制流量、泵壓、溫度等參數(shù)，實時顯示運行狀態(tài)。設備具備故障自動診斷功能，并擁有多項報警保護功能，能夠提前預警潛在問題，保障生產(chǎn)的連續(xù)性和穩(wěn)定性。
6、控制重復性與穩(wěn)定性：基于動態(tài)控制系統(tǒng)，確保每次控制結(jié)果的一致性，有效提升生產(chǎn)穩(wěn)定性。
7、自適應PID控制：采用自適應PID算法，能夠自動適應不同的環(huán)境和負載條件，無需人工調(diào)整參數(shù)，這大大降低了操作難度和維護成本，提高了設備的智能化水平。
溫度控制是半導體制造過程中一項重要的工藝環(huán)節(jié)。冠亞恒溫半導體溫控Chiller憑借技術創(chuàng)新作為發(fā)展動力，通過提供準確、穩(wěn)定且有效的溫控系統(tǒng)，協(xié)助企業(yè)優(yōu)化生產(chǎn)流程，降低資源消耗，推動企業(yè)實現(xiàn)高質(zhì)量的制造生產(chǎn)。
雙通道系列 Dual Channel Chiller
FLTZ系列雙通道Chillers主要用于半導體制程中對反應腔室溫度的精準控制，公司在系統(tǒng)中應用多種算法（PID、前饋PID、無模型自建樹算法），顯著提升系統(tǒng)的響應速度、控制精度和穩(wěn)定性。
詳細信息單通道系列 Single Channel Chiller
FLTZ系列單通道Chillers主要應用與半導體生產(chǎn)過程中及測試環(huán)節(jié)的溫度精準控制，公司在系統(tǒng)中應用多種算法（PID、前饋PID、無模型自建樹算法），實現(xiàn)系統(tǒng)快速響應、較高的控制精度。
詳細信息三通道系列 Triple Channel Chiller
FLTZ系列三通道Chillers主要應用與半導體生產(chǎn)過程中及測試環(huán)節(jié)的溫度精準控制，系統(tǒng)支持三個通道獨立控溫，每個通道有獨立的溫度范圍、冷卻加熱能力、導熱介質(zhì)流量等。
詳細信息面板系列Panel Chiller
面板系列Chiller應?于刻蝕、蒸鍍、鍍膜?藝等，支持?流量?負載，確保極端?況下持續(xù)穩(wěn)定運?；支持冷卻?動態(tài)調(diào)節(jié)系統(tǒng)，可根據(jù)環(huán)境溫度與設備熱負荷，實時調(diào)節(jié)?溫。
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