半導體刻蝕直冷機etch chiller的控溫技術及在刻蝕中的關鍵應用
31半導體制造工藝對溫度控制的準確性有著嚴苛的要求,特別是在刻蝕環(huán)節(jié),溫度波動會直接影響刻蝕速率、選擇比和線寬精度??涛g直冷機etch chiller作為一種直接將制冷劑輸送至目標控溫元件的設備,在半導體刻蝕領應用廣泛。
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半導體制造工藝對溫度控制的準確性有著嚴苛的要求,特別是在刻蝕環(huán)節(jié),溫度波動會直接影響刻蝕速率、選擇比和線寬精度??涛g直冷機etch chiller作為一種直接將制冷劑輸送至目標控溫元件的設備,在半導體刻蝕領應用廣泛。
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