半導(dǎo)體投入大，制造工序多，為了提高產(chǎn)品的良品率、確保收益，需要在半導(dǎo)體的每個(gè)環(huán)節(jié)進(jìn)行質(zhì)量把控，影響產(chǎn)品質(zhì)量的其中一個(gè)重要因素就是溫度，溫度的穩(wěn)定性及精準(zhǔn)度非常重要，為獲得穩(wěn)定可靠的產(chǎn)品保駕護(hù)航。

冠亞循環(huán)冷卻器和水- 水熱交換器為從前端到后端的整體半導(dǎo)體工藝流程提供支持。通過(guò)擁有超過(guò)16年的溫度控制經(jīng)驗(yàn)以及與各大zhi名主設(shè)備機(jī)臺(tái)直接配套經(jīng)驗(yàn)，我們?yōu)榘雽?dǎo)體客戶提供標(biāo)準(zhǔn)產(chǎn)品及用戶定制產(chǎn)品、溫度控制技術(shù)的專業(yè)知識(shí)以及全球化服務(wù)，有助于滿足您從鑄錠到測(cè)試的半導(dǎo)體工藝流程中苛刻的溫度要求。

型號(hào)	FLTZ-002	FLTZ-003	FLTZ-004	FLTZ-006	FLTZ-008	FLTZ-010	FLTZ-015
	FLTZ-002W	FLTZ-003W	FLTZ-004W	FLTZ-006W	FLTZ-008W	FLTZ-010W	FLTZ-015W
溫度范圍	5℃～90℃
控溫精度	±0.05℃（出口溫度穩(wěn)態(tài)）
制冷量at10℃	6kW	8kW	10kW	15kW	20kW	25kW	40kW
內(nèi)循環(huán)液容積	4L	5L	6L	8L	10L	12L	20L
膨脹罐容積	10L	10L	15L	15L	20L	25L	35L
制冷劑	R410A
載冷劑	硅油、氟化液、乙二醇水溶液、DI等  （DI溫度需要控制10℃以上）
進(jìn)出接口	ZG1/2	ZG1/2	ZG3/4	ZG3/4	ZG3/4	ZG1	ZG1
冷卻水口	ZG1/2	ZG1/2	ZG3/4	ZG1	ZG1	ZG1	ZG1 1/8
冷卻水流量at20℃	1.5m3/h	2m3/h	2.5m3/h	4m3/h	4.5m3/h	5.6m3/h	9m3/h
?藝過(guò)程溫度控制	可根據(jù)?創(chuàng)?模型?建樹算法和串級(jí)算法相結(jié)合來(lái)控制遠(yuǎn)程?標(biāo)溫度
尺寸	950*380*1055	950*380*1055	950*380*1055	980*430*1400	980*430*1400	1080*600*1500	1080*600*1500

留言我們將在24小時(shí)內(nèi)與您聯(lián)系

給我們發(fā)郵件

*

*

正在提交！

提交成功！

提交失敗！

郵箱錯(cuò)誤！

電話錯(cuò)誤！