半導體投入大，制造工序多，為了提高產(chǎn)品的良品率、確保收益，需要在半導體的每個環(huán)節(jié)進行質(zhì)量把控，影響產(chǎn)品質(zhì)量的其中一個重要因素就是溫度，溫度的穩(wěn)定性及精準度非常重要，為獲得穩(wěn)定可靠的產(chǎn)品保駕護航。

冠亞循環(huán)冷卻器和水- 水熱交換器為從前端到后端的整體半導體工藝流程提供支持。通過擁有超過16年的溫度控制經(jīng)驗以及與各大zhi名主設備機臺直接配套經(jīng)驗，我們?yōu)榘雽w客戶提供標準產(chǎn)品及用戶定制產(chǎn)品、溫度控制技術的專業(yè)知識以及全球化服務，有助于滿足您從鑄錠到測試的半導體工藝流程中苛刻的溫度要求。

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冠亞循環(huán)冷卻器和水- 水熱交換器為從前端到后端的整體半導體工藝流程提供支持。通過擁有超過16年的溫度控制經(jīng)驗以及與各大zhi名主設備機臺直接配套經(jīng)驗，我們?yōu)榘雽w客戶提供標準產(chǎn)品及用戶定制產(chǎn)品、溫度控制技術的專業(yè)知識以及全球化服務，有助于滿足您從鑄錠到測試的半導體工藝流程中苛刻的溫度要求。

型號	FLT-803W	FLT-805W	FLT-806W	FLT-808W	FLT-810W
溫度范圍	-80℃～+80℃
控溫精度	±0.1℃
流量控制	7～25L/min		12～45L/min
	流量控制采用變頻器調(diào)節(jié)，根據(jù)流量傳感器反饋信號自動調(diào)節(jié)轉(zhuǎn)速，循環(huán)泵zui大壓力6bar
制冷量@-70℃	0.6KW	1KW	1.5KW	2KW	3KW
加熱功率	2KW	2KW	2KW	3.5KW	3.5KW
內(nèi)循環(huán)液容積	4L	5L	6L	8L	10L
膨脹罐容積	10L	10L	15L	15L	20L
導熱介質(zhì)	氟化液
進出接口	ZG1/2	ZG1/2	ZG3/4	ZG3/4	ZG3/4
冷卻水接口	ZG3/4	ZG3/4	ZG3/4	G1	G1
冷卻水@20℃	1.8m3/h	2.5m3/h	3m3/h	5m3/h	6m3/h
電源	380V 50HZ
斷路器	25A	25A	32A	40A	50A

型號	FLT-1002W	FLT-1004W
溫度范圍	-100℃～+80℃	-100℃～+80℃
控溫精度	±0.1℃	±0.1℃
流量控制	7～25L/min	12～45L/min
?	流量控制采用變頻器調(diào)節(jié)，根據(jù)流量傳感器反饋信號自動調(diào)節(jié)轉(zhuǎn)速，循環(huán)泵zui大壓力6bar
制冷量@-90℃	1.5KW	3KW
加熱功率	3.5KW	5.5KW
內(nèi)循環(huán)液容積	5L	8L
膨脹罐容積	10L	15L
導熱介質(zhì)	氟化液
導熱介質(zhì)接口	G3/4	G3/4
冷卻水接口	G3/4	G1
冷卻水@20℃	50L/min 2bar~7bar	100L/min 2bar~7bar
電源	380V 50HZ	380V 50HZ
斷路器	32A	63A
尺寸	700*800*1850	800*1200*1850

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型號	ETCU-005W	ETCU-008W	ETCU-015W	ETCU-030W
溫度范圍	冷卻水溫度?+5℃~90℃?±0.3℃
冷卻水溫度	7℃~30℃ 采用西門子/霍尼韋爾調(diào)節(jié)閥控制冷卻水流量
冷卻能力	5kw	8kw	15kw	30kw
?	測試條件：zui大循環(huán)量時，控溫溫度與冷卻水溫度溫差15℃
循環(huán)泵流量	7~20L/min 5bar	7~20L/min 5bar	15~40L/min 5bar	20~60L/min 5bar
儲罐容積	6L	8L	10L	15L
尺寸	480*750*390	480*750*390	480*750*390	480*750*500
電源	220V 50HZ/60hz?0.6kw		220V 50HZ/60hz1.3kw	220V 50HZ/60hz 1.6kw

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型號	FLTZ-002	FLTZ-003	FLTZ-004	FLTZ-006	FLTZ-008	FLTZ-010	FLTZ-015
	FLTZ-002W	FLTZ-003W	FLTZ-004W	FLTZ-006W	FLTZ-008W	FLTZ-010W	FLTZ-015W
溫度范圍	5℃～90℃
控溫精度	±0.05℃（出口溫度穩(wěn)態(tài)）
制冷量at10℃	6kW	8kW	10kW	15kW	20kW	25kW	40kW
內(nèi)循環(huán)液容積	4L	5L	6L	8L	10L	12L	20L
膨脹罐容積	10L	10L	15L	15L	20L	25L	35L
制冷劑	R410A
載冷劑	硅油、氟化液、乙二醇水溶液、DI等  （DI溫度需要控制10℃以上）
進出接口	ZG1/2	ZG1/2	ZG3/4	ZG3/4	ZG3/4	ZG1	ZG1
冷卻水口	ZG1/2	ZG1/2	ZG3/4	ZG1	ZG1	ZG1	ZG1 1/8
冷卻水流量at20℃	1.5m3/h	2m3/h	2.5m3/h	4m3/h	4.5m3/h	5.6m3/h	9m3/h
?藝過程溫度控制	可根據(jù)?創(chuàng)?模型?建樹算法和串級算法相結(jié)合來控制遠程?標溫度
尺寸	950*380*1055	950*380*1055	950*380*1055	980*430*1400	980*430*1400	1080*600*1500	1080*600*1500

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