冷凍機-工業(yè)冷凍機-高低溫一體機
Chiller 換熱型 系統(tǒng)無壓縮機
- 冷卻能力5KW~30KW
- 溫度范圍冷卻水溫度+5℃~90℃ ±0.3℃
- 儲罐容積6L~15L
- 尺寸480*750*390/480*750*500
半導體投入大，制造工序多，為了提高產品的良品率、確保收益，需要在半導體的每個環(huán)節(jié)進行質量把控，影響產品質量的其中一個重要因素就是溫度，溫度的穩(wěn)定性及精準度非常重要，為獲得穩(wěn)定可靠的產品保駕護航。
冠亞循環(huán)冷卻器和水- 水熱交換器為從前端到后端的整體半導體工藝流程提供支持。通過擁有超過16年的溫度控制經驗以及與各大zhi名主設備機臺直接配套經驗，我們?yōu)榘雽w客戶提供標準產品及用戶定制產品、溫度控制技術的專業(yè)知識以及全球化服務，有助于滿足您從鑄錠到測試的半導體工藝流程中苛刻的溫度要求。
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型號 |
ETCU-005W |
ETCU-008W |
ETCU-015W |
ETCU-030W |
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溫度范圍 |
冷卻水溫度?+5℃~90℃?±0.3℃ |
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冷卻水溫度 |
7℃~30℃ 采用西門子/霍尼韋爾調節(jié)閥控制冷卻水流量 |
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冷卻能力 |
5kw |
8kw |
15kw |
30kw |
| ? |
測試條件：zui大循環(huán)量時，控溫溫度與冷卻水溫度溫差15℃ |
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循環(huán)泵流量 |
7~20L/min 5bar |
7~20L/min 5bar |
15~40L/min 5bar |
20~60L/min 5bar |
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儲罐容積 |
6L |
8L |
10L |
15L |
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尺寸 |
480*750*390 |
480*750*390 |
480*750*390 |
480*750*500 |
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電源 |
220V 50HZ/60hz?0.6kw |
220V 50HZ/60hz1.3kw |
220V 50HZ/60hz 1.6kw |
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