什么是半導(dǎo)體行業(yè)用的面板系列Panel Chiller?
110單通道、多通道半導(dǎo)體Chillers主要應(yīng)用與半導(dǎo)體生產(chǎn)過(guò)程中及測(cè)試環(huán)節(jié)的溫度精準(zhǔn)控制
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單通道、多通道半導(dǎo)體Chillers主要應(yīng)用與半導(dǎo)體生產(chǎn)過(guò)程中及測(cè)試環(huán)節(jié)的溫度精準(zhǔn)控制
查看全文制冷加熱控溫系統(tǒng),結(jié)合智能控制系統(tǒng),實(shí)現(xiàn)-150℃至350℃寬域溫控
查看全文低溫冷凍機(jī)通過(guò)夾套或盤(pán)管與反應(yīng)釜連接,動(dòng)態(tài)調(diào)節(jié)溫度,溫度控制范圍從-150℃到-5℃
查看全文制冷加熱控溫控流量系統(tǒng),采用變頻渦旋壓縮機(jī),根據(jù)實(shí)際需求自動(dòng)調(diào)整運(yùn)轉(zhuǎn)速度,提供所需的制冷能力,與傳統(tǒng)的定頻壓縮機(jī)相比,顯著降低能源消耗,提高能效性能
查看全文準(zhǔn)確控溫、快速響應(yīng)、高穩(wěn)定性和模塊化設(shè)計(jì),實(shí)現(xiàn)反應(yīng)條件準(zhǔn)確調(diào)控
查看全文涉及-100~90°C控溫,滿足半導(dǎo)體各個(gè)工藝環(huán)節(jié)的控溫需求,采用獨(dú)立的兩套系統(tǒng)
查看全文-110~30度制冷,精度±0.3°C,根據(jù)工藝及溫度選擇不同介質(zhì),介質(zhì)為純水DI、乙二醇水溶液、乙醇、導(dǎo)熱油、二氯甲烷、冰河冷媒等
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