面板冷水機panel chiller：玻璃基板溫度控制的工業(yè)級溫控解決方案

2025年6月11日行業(yè)新聞 Panel Chiller680

　　面板冷水機以實現(xiàn)準確溫度控制為目標，集成多種關(guān)鍵技術(shù)，其核心原理圍繞制冷循環(huán)、溫度控制算法及系統(tǒng)集成展開。

　　一、面板冷水機技術(shù)特點介紹

　　在制冷技術(shù)層面，面板冷水機采用單壓縮機多級復(fù)疊技術(shù)，可達成單個壓縮機控溫。其制冷系統(tǒng)包含壓縮機、冷凝器、膨脹閥及蒸發(fā)器等組件。壓縮機將制冷劑壓縮為高溫高壓氣體，經(jīng)冷凝器冷卻液化后，通過膨脹閥降壓降溫，在蒸發(fā)器內(nèi)吸收循環(huán)液熱量實現(xiàn)制冷。部分設(shè)備還引入直冷型技術(shù)，將制冷劑直接通入目標控制元件換熱，換熱的能力較傳統(tǒng)流體輸送方式提升，適用于換熱面積小但換熱量大的場景。

　　溫度控制算法是設(shè)備準確控溫的關(guān)鍵。面板冷水機運用PID、前饋PID及無模型自建樹算法，通過傳感器實時采集排吸氣溫度、冷凝溫度、進出液體溫度等參數(shù)，并接入控制系統(tǒng)進行管理監(jiān)控記錄。通過變頻器調(diào)節(jié)循環(huán)泵轉(zhuǎn)速及壓縮機功率，實現(xiàn)流量與制冷量的動態(tài)匹配。

　　系統(tǒng)設(shè)計上，設(shè)備采用全密閉循環(huán)結(jié)構(gòu)，低溫環(huán)境下不吸收空氣中水分，也不揮發(fā)導(dǎo)熱介質(zhì)，同時可自動補充導(dǎo)熱介質(zhì)。管路內(nèi)部選用不銹鋼、銅等材質(zhì)，外殼采用冷軋板噴塑工藝，保障系統(tǒng)耐腐蝕及長期穩(wěn)定運行。

　　二、工業(yè)應(yīng)用場景及適配性分析

　　1、半導(dǎo)體行業(yè)

　　在半導(dǎo)體制造與測試環(huán)節(jié)，面板冷水機承擔著關(guān)鍵的溫度控制任務(wù)。芯片封裝過程中，需通過設(shè)備提供寬溫度環(huán)境，實現(xiàn)快速升降溫及恒溫控制，實時監(jiān)控被測IC真實溫度并閉環(huán)反饋，確保封裝工藝的穩(wěn)定性。半導(dǎo)體器件測試方面，模塊化設(shè)計便于備用機替換，解決頻繁開關(guān)門導(dǎo)致的結(jié)霜問題，適用于大規(guī)模集成電路的可靠性評估。

　　2、電子設(shè)備研發(fā)與生產(chǎn)

　　電子設(shè)備研發(fā)階段，需模擬苛刻溫度環(huán)境測試元件性能。如氣體溫控設(shè)備可將干燥壓縮空氣、氮氣等氣體降溫，為傳感器、射頻器件等提供低溫測試條件，其可編程控制器及7寸觸摸屏可實時記錄溫度曲線及警告情況。生產(chǎn)環(huán)節(jié)中，冷水機為半導(dǎo)體專用溫控設(shè)備、射流式高低溫沖擊測試機等提供穩(wěn)定冷源，可根據(jù)產(chǎn)線規(guī)模靈活選擇，保障電子元件生產(chǎn)過程的溫度一致性。

　　3、其他工業(yè)領(lǐng)域

　　在化工與制藥行業(yè)，設(shè)備可用于反應(yīng)釜溫度控制，通過一拖多制冷加熱控溫系統(tǒng)，一臺主機可控制多臺反應(yīng)裝置，實現(xiàn)不同工藝階段的溫度準確調(diào)節(jié)。

面板冷水機憑借其技術(shù)原理與廣泛的工業(yè)適配性，已成為半導(dǎo)體、電子、新能源等行業(yè)的關(guān)鍵裝備。通過技術(shù)迭代與場景拓展，其在提升工業(yè)生產(chǎn)精度、保障產(chǎn)品性能及推動行業(yè)技術(shù)進步方面將發(fā)揮更為重要的作用。